Occasion AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9287470 à vendre en France

AIXTRON AIX 2400 G3 HT est un réacteur à dépôt chimique métallique en phase vapeur (MOCVD). Il est utilisé pour le dépôt de couches ultra minces de matériaux semi-conducteurs tels que le GaN et le GaAs pour les industries de la microélectronique et de l'optoélectronique. Ce réacteur utilise une configuration MOCVD à tube horizontal (HT), dans laquelle la chambre de croissance est montée horizontalement, ce qui permet une maintenance aisée et un meilleur contrôle du procédé. Il dispose d'un équipement de levage entièrement automatisé pour un accès facile à la chambre de processus et le transport des plaquettes et des substrats. AIXTRON AIX 2400 G3/HT est équipé d'un projecteur ultra-neigeux à quartz qui chauffe jusqu'à 1000 ° C et d'un système de régulation de température avec capacité de balayage CAE. Il est conçu pour répondre aux exigences des procédés de dépôt à haute vitesse des matériaux semi-conducteurs composés III-V tels que le nitrure de gallium et l'arséniure de gallium. Il présente une excellente homogénéité de dépôt et est capable de déposer des couches de l'ordre de 5 à 200 nm. AIX 2400 G3 HT est également capable de recevoir différents types de systèmes de distribution de liquide pour la délivrance de précurseurs liquides, tels que dopants et passivateurs. Le réacteur utilise un gaz vecteur à dissolution rapide tel que l'azote pour assurer un écoulement homogène et stable en continu des précurseurs. Ceci permet un contrôle stable du procédé avec une qualité de film constante et réduit les déchets de précurseurs. AIX 2400 G3/HT dispose également d'une unité d'échappement unique pour réduire les niveaux de contamination. Cette machine d'échappement comprend un épurateur à gaz supplémentaire et un outil de filtration pour retirer les matières dangereuses de la chambre. Cela permet un environnement sûr et propre dans la chambre de croissance et assure un contrôle stable du processus. AIXTRON AIX 2400 G3 HT est un réacteur efficace, fiable et économique pour la production de divers dispositifs optoélectroniques et microélectroniques. Il a un design robuste et peut fonctionner de façon stable et fiable dans un cadre de fabrication. Grâce à ses capacités avancées de contrôle et de surveillance des processus, il est adapté à la production de produits de haute qualité.