Occasion AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602 à vendre en France

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Fabricant
AIXTRON
Modèle
AIX 2400 G3 HT
ID: 9352602
Style Vintage: 2004
MOCVD System 2004 vintage.
AIXTRON AIX 2400 G3 HT (High Tempered) est un réacteur polyvalent de haute performance conçu pour le dépôt flexible de couches minces et les processus d'étalonnage avancés dans l'industrie des semi-conducteurs. Il présente un design très robuste avec une configuration spacieuse à huit chambres et des vannes de chambre optimisées. Les principaux composants du réacteur AIXTRON AIX 2400 G3/HT comprennent les chambres de procédés, les entrées de gaz, les sorties de gaz, la plaque de dépôt, l'interface de procédé et les supports de substrat RFG. Chaque chambre est conçue avec un équipement de verrouillage individualisé, fournissant un point de connexion sécurisé et répétable et permettant aux utilisateurs de charger et décharger rapidement les substrats. Les chambres de traitement sont chauffées par un système de zone chaude embarqué, contrôlé par un contrôleur PID. Les entrées de gaz du réacteur AIX 2400 G3 HT ont un design de connexion rapide avec des soupapes à billes individualisées pour chaque type de gaz. Tous les composants embarqués sont reliés à une buse venturi en acier inoxydable pour garder les processus propres et efficaces. Le réacteur dispose également d'un auto-nettoyage programmable complet pour un nettoyage fiable des chambres de procédés lors de changements de recettes ou de calibrages. La plaque de dépôt de chambre fournit un grand nombre de supports pour le dépôt facile et efficace de couches minces sur des substrats. Les supports de substrat RFG sont conçus pour améliorer l'homogénéité du chauffage et conviennent à une utilisation en croissance de précision. De plus, le réacteur comprend une interface de processus automatisée et un puissant générateur RF d'une puissance de 1 MHz - 13,56 MHz. Le réacteur AIX 2400 G3/HT est équipé de dispositifs de sécurité pour protéger l'unité, y compris une machine de surveillance de la température excessive et un bouton d'arrêt d'urgence qui arrête immédiatement le processus. Il dispose également d'un logiciel haute vitesse et très sensible avec la capacité de surveiller et d'ajuster les paramètres en temps réel. Dans l'ensemble, AIXTRON AIX 2400 G3 HT est un réacteur polyvalent et multifonctionnel conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Avec son design innovant, sa construction robuste et ses caractéristiques de sécurité complètes, ce réacteur est un choix idéal pour des opérations de dépôt de haute fiabilité et de haute performance.
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