Occasion AIXTRON AIX 2600 G3 HT #293592763 à vendre en France

AIXTRON AIX 2600 G3 HT est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour la croissance de couches minces et de structures nanométriques de matériaux. Il est idéal pour des projets de recherche et développement dans les domaines de la science des matériaux, de l'optoélectronique, de la technologie des semi-conducteurs et des micro-systèmes. AIX 2600 G3 HT est un réacteur hexagonal horizontal à géométrie à quatre branches, permettant de fonctionner simultanément jusqu'à six cellules de procédé. Les cellules individuelles sont conçues pour être compatibles avec des matériaux sources variés et ont une répartition uniforme de la température avec des gradients de basse température verticale. Chaque cellule possède une source inférieure, une source intermédiaire et une source supérieure contrôlées indépendamment, y compris un système vertical de manipulation des sources solides. L'unité est équipée d'un générateur de plasma RF/DC, qui utilise une combinaison de radiofréquence (RF) et de courant continu (DC) pour créer un plasma. La RF/DC peut augmenter la répétabilité des processus, en particulier pour les taux de dépôt, l'uniformité des couches et les taux de croissance. AIXTRON AIX 2600 G3 HT a une plage de température de 10 ° à 350 ° C et permet à l'utilisateur de choisir parmi quatre niveaux différents d'uniformité de température. Une vitesse de rotation maximale de 300tr/min assure une bonne uniformité du profil de température. La température des différents matériaux de base est réglable indépendamment et étroitement surveillée par la machine. Le taux de dépôt d'AIX 2600 G3 HT varie de 0,2 à 3,0 nm/s et la pression varie de 0,2 à 3,0 torr. L'outil est livré avec un actif de contrôle de processus entièrement intégré qui surveille les variables de processus pour donner un contrôle maximal sur les matériaux en cours de traitement. AIXTRON AIX 2600 G3 HT dispose de plusieurs caractéristiques de sécurité, dont un modèle d'arrêt d'urgence, une purge automatique de l'argon, un prélèvement d'air et un équipement d'échappement à sec. Cela garantit la sécurité d'utilisation du système et le maintien de la qualité du processus. Dans l'ensemble, AIX 2600 G3 HT est une unité efficace et polyvalente pour les applications de la science des matériaux et de l'optoélectronique. Il offre une grande uniformité, répétabilité et rapidité, ce qui en fait un choix idéal pour les projets de recherche.