Occasion AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9064065 à vendre en France

AIXTRON AIX 2800 G4 HT est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) conçu pour le dépôt de couches minces. Le réacteur fonctionne à des températures allant de la température ambiante à 800 ° C, selon le matériau. L'usine est équipée d'une gamme de gaz de procédé et est capable de produire des films minces de haute qualité de divers matériaux. AIXTRON AIX 2800G4-HT est un modèle à trois chambres qui peut être configuré comme un équipement à chambre unique ou à chambre divisée, selon le type de dépôt souhaité. La chambre de traitement principale est enfermée dans une chambre en acier inoxydable en forme de cloche inversée, avec un système de refroidissement intégré qui refroidit le substrat et élimine la chaleur liée au processus. Un collecteur de sources de gaz est intégré dans la chambre en forme de cloche, ce qui permet d'acheminer jusqu'à quatre gaz de procédé pour le dépôt d'un large éventail de matériaux. La chambre principale comprend un injecteur de gaz latéral pour la délivrance d'espèces réactives pour des applications en couches minces plus difficiles. La chambre offre également une option pour une chambre de dégazage à base de gaz, permettant l'élimination des contaminants en phase gazeuse ou des espèces liées aux matériaux du gaz de procédé. AIX 2800G4 HT dispose également d'une gamme de caractéristiques facultatives pour des procédés de dépôt plus avancés tels que sa chambre de dépôt à impulsion. Cette chambre est destinée à améliorer encore le contrôle de l'épaisseur et de la composition du film en fournissant une entrée pulsée de gaz de procédé pour les procédés de dépôt sélectif de surface. L'unité de contrôle d'AIXTRON AIX 2800G4 HT est basée sur un ordinateur personnel puissant, fournissant une interface utilisateur graphique intuitive pour l'opérateur. Le réacteur est également conçu pour être compatible avec les systèmes intégrés de surveillance des procédés et de métrologie, permettant un contrôle précis des propriétés des films. Globalement, AIX 2800 G 4 HT est une machine sophistiquée de dépôt de couches minces offrant un contrôle précis des propriétés du film et une excellente répétabilité. Avec sa gamme de fonctionnalités avancées, AIX 2800G4-HT est un outil puissant pour toute opération de dépôt en couches minces.