Occasion AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9123393 à vendre en France
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Vendu
ID: 9123393
Style Vintage: 2010
MOVPE System
GaN System
Configured for LED substrate
Aixact software version: 6.1.6.8
(12) MO's
(7) Actives (TMGa, TMAl, TMIn, TEOS, CBr4, Cp2Mg, TEGa incl. MFC/PC etc.)
Dopant lines: Double dilution
Pumps:
Process pump: EBARA A70W
Glovebox pump: VARIAN Tiscroll 300
Door-pump: VARIAN Triscroll 300
Insitu monitoring: Photrix
H2 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
N2 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
NH3 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
MFC: BRONKHORST
2010 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT est un réacteur de production de pointe conçu pour le dépôt et le traitement de semi-conducteurs composés tels que GaAs, InP et GaN. Cet équipement permet le dépôt de ces matériaux dans des taux de croissance élevés et une excellente homogénéité de couche. La configuration du réacteur du système est spécifiquement conçue pour effectuer de grandes séries de plaquettes allant jusqu'à 800 mm en un seul lot. AIXTRON AIX 2800G4-HT utilise une plaque horizontale de distribution de gaz de quartz, qui répartit uniformément les gaz de réaction sur l'ensemble du substrat pour une meilleure uniformité. La serrure très flexible offre une commodité inégalée, et permet le transport entre les chambres de charge et de traitement sans casser le vide. AIX 2800G4 HT dispose d'une tête de douche chauffée avec une distribution de température contrôlable en 8 étapes pour optimiser les performances de dépôt et la qualité des couches. Pour une meilleure homogénéité, le réacteur est équipé d'un suscepteur mobile rapide pour assurer une homogénéité de couche et une homogénéité de lit optimale. D'autres caractéristiques comprennent une machine de contrôle de pression intégrée, qui permet un contrôle précis du gaz pour une large gamme de substrats et les conditions de processus. La serrure de charge est également équipée d'une lampe de purge UV pour assurer un niveau de propreté élevé avant d'entrer dans la chambre de réaction. AIX 2800G4-HT intègre également un logiciel de recette intelligent, qui optimise les performances des outils grâce à des fonctions d'optimisation automatique des processus. En outre, AIXTRON AIX 2800G4 HT est conçu pour un fonctionnement sûr, avec une chambre de scellement de sécurité qui empêche les gaz de réaction de s'échapper dans l'environnement de travail. Cet actif utilise également un modèle de recirculation en boucle fermée pour réduire l'utilisation de gaz de réaction hautement toxiques. Il satisfait ou dépasse toutes les normes de sécurité applicables, donnant aux utilisateurs la tranquillité d'esprit pendant qu'ils utilisent l'équipement. En résumé, AIX 2800 G4 HT est un réacteur de production puissant et très précis conçu pour le dépôt et le traitement des semi-conducteurs composés. Il offre un dépôt rapide et uniforme, un contrôle de pression intégré et une lampe de purge UV pour une qualité de couche supérieure et la propreté. Avec sa conception optimisée et ses caractéristiques de sécurité intégrées, AIXTRON AIX 2800 G 4 HT est un outil inestimable pour les utilisateurs de l'industrie des semi-conducteurs.
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