Occasion AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9171480 à vendre en France
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ID: 9171480
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 2009
MOCVD System, 4"-6"
Process: GaN
2009 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT est un réacteur planétaire monobloc à haut débit pour des procédés catalytiques à haute température. Il est conçu pour le dépôt thermiquement amélioré d'une large gamme de matériaux en couches minces liés à l'électronique de puissance, l'optoélectronique, VLSI, MEMS et microsystèmes. AIXTRON AIX 2800G4-HT est basé sur un accès robuste, caloduc refroidi, configuration sans issue pour un dépôt très efficace, uniforme et reproductible de matériaux réfractaires à haute température tels que les silicures métalliques et les nitrures. L'équipement dispose d'une grande zone de processus qui peut accueillir des plaquettes jusqu'à douze pouces de diamètre. La conception de la chambre de processus d'AIX 2800G4 HT est basée sur le principe éprouvé d'un caloduc refroidi, simple-wafer géométrie planétaire. Cette conception offre un équilibre thermique optimal entre les points chauds et les zones froides, une excellente uniformité de l'épaisseur et de la densité du film. AIX 2800 G 4 HT utilise également une chambre d'accès innovante ainsi qu'une technologie unique de blindage de gaz. Cette chambre d'accès permet un chargement/déchargement efficace des plaquettes et offre un environnement propre pour le traitement des substrats. AIXTRON AIX 2800G4 HT intègre un système de pulsation automatique à haut débit qui assure une fabrication sans faille des films, éliminant les variations de tranche à tranche et l'érosion des particules. L'unité dispose également d'un contrôleur de machine intégré et intelligent et d'un logiciel qui améliore la sécurité des utilisateurs tout en optimisant les paramètres de dépôt. Le logiciel intégré de création et de contrôle de recettes permet également aux utilisateurs de sélectionner facilement les paramètres de dépôt optimaux pour des matériaux et procédés spécifiques avec quelques touches simples. AIX 2800 G4 HT est conçu pour assurer un entretien minimal et une excellente fiabilité opérationnelle. Il dispose d'un outil intégré de distribution de gaz qui automatise les processus d'installation et de maintenance des gaz de traitement. En outre, un actif avancé de surveillance des particules dans le processus assure un revêtement de haute qualité des films en éliminant les particules qui peuvent affecter les performances. En conclusion, AIXTRON AIX 2800 G 4 HT est un réacteur planétaire monobloc efficace et à haut débit idéal pour le dépôt thermique d'une large gamme de matériaux à couches minces. Le modèle est équipé d'une variété de caractéristiques et de technologies qui garantissent un équilibre thermique optimal, l'uniformité de l'épaisseur du film, un fonctionnement fiable et un entretien minimal.
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