Occasion AIXTRON AIX 2800 G4 #9286299 à vendre en France

AIXTRON AIX 2800 G4 est une chambre de réaction liquide à flux forcé, à couplage étroit, de pointe, destinée à la fabrication de structures semi-conductrices avancées. Les principales caractéristiques de cet équipement comprennent une chambre de verrouillage de charge à ouverture avant, un fonctionnement automatisé source-chambre-obturateur, une orientation de source télécommandée et une chambre de procédé LPCVD de troisième génération. AIXTRON AIX2800G4 est conçu pour offrir des propriétés pelliculaires supérieures et un excellent débit de matériaux, ce qui rend ce système bien adapté à une large gamme d'applications submicroniques, y compris la lithographie avancée, MEMS, optoélectronique, Power-MOS et CMOS-structures. L'unité offre un taux de charge efficace de 80 Wafer par heure et une machine à flux réactif intégrée qui donne des résultats très cohérents. Il est basé sur un outil de plancher surélevé, donnant accès à une variété de robot et de chambres flexibles. AIX 2800G4 peut exécuter la séquence de montage de la source en quatre étapes avec un bras de source conçu pour effectuer l'orientation de la source de précision et la stabilisation de la température. L'actif fournit également des fonctions de régulation de température avancées pour améliorer l'uniformité sur la distance du processus. La chambre de procédé LPCVD est équipée de chauffage RF et d'hydrogène et de gaz de procédé, permettant le dépôt efficace de divers matériaux. Le contrôle d'épaisseur très précis permet une excellente répétabilité et la possibilité de déposer des structures de couches interconnectées. AIX 2800 G4 est l'un des réacteurs les plus avancés pour les structures semi-conductrices sur le marché aujourd'hui. Il dispose d'une automatisation avancée, d'un débit élevé et d'une surveillance in situ fiable pour permettre aux utilisateurs de produire des dispositifs semi-conducteurs avancés de haute qualité. Le modèle est également facile à entretenir, ce qui lui permet de rester en service pendant de nombreuses années avec un minimum de temps d'arrêt. Ce réacteur est bien adapté aux laboratoires de recherche, aux fabricants de semi-conducteurs et aux universités cherchant à produire des dispositifs semi-conducteurs avancés.