Occasion AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9384948 à vendre en France
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Vendu
ID: 9384948
Taille de la plaquette: 2"-6"
Style Vintage: 2011
MOCVD System, 2"-6"
GaN
Main pump: EBARA ESA80W-HDF
(2) Scroll pumps
RF Generator
Hydried line: NH3-1, NH3-2, SiH4
Chamber: 56x2''/ 8x6''
Temperature monitors:
Photrix LWL Luxtron
EpiTT x G5 x 405 nm
MO Sources:
TMGa-1
TMGa-2
TMAl-1
Cp2Mg-1
Cp2Mg-2
TMIn-1
TMIn-2
TEG-1
TEG-2
Power supply: 400/230 VAC, 3-Phase, 4-Wires+ground
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G5 HT est un équipement de dépôt commercial à l'échelle de la production conçu pour permettre la fabrication de polariseurs à grille filaire de haute qualité (WGP) et d'autres composants optiques à base de couches minces. C'est un outil hybride à haute température, capable d'effectuer le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de matériaux III-V à des températures allant jusqu'à 1000 ° C et l'évaporation directe des métaux, des oxydes, des pigments et des couches diélectriques. AIXTRON AIX 2800G5 HT comprend un système de purge à trois niveaux performant, une alimentation à courant continu rapide et une tête de dépôt de haute précision avec jusqu'à quatre broches. L'unité est équipée de porte-lames à facettes exclusives AIXTRON, conçues pour permettre le dépôt multi-angle des WGP, ainsi que la gravure post-dépôt et le polissage de surface du produit fini. La machine dispose également d'un bras robotisé entièrement automatisé, extrêmement précis, pour le chargement, le déchargement et le transfert de substrat à substrat. AIX 2800 G5 HT combine un design compact et à haut débit avec une unité de commande sophistiquée et avancée. Son interface utilisateur est extrêmement conviviale, permettant une installation intuitivement guidée et un traitement rapide des lots de substrat. L'outil comprend une suite intégrée de collecte et d'analyse de données, ainsi qu'un contrôle de puissance automatisé de pointe pour la gestion manuelle ou entièrement automatisée des recettes. Son puissant module de diagnostic permet une surveillance in situ complète des paramètres critiques et la détection et la correction des défauts en vol. Les systèmes de livraison de processus entièrement automatisés garantissent des processus de dépôt précis et reproductibles en couches minces, ainsi qu'un réglage et un développement rapides pour différents matériaux et conditions de processus spécifiques à l'application. Cet atout de dépôt à haute température, précis et puissant fait d'AIX 2800G5 HT l'outil parfait pour de nombreuses applications de couches optiques minces ultra-précises, telles que les WGP, ainsi que de nombreuses autres applications intensives en couches minces. Ses capacités de fabrication supérieures et de manipulation précise des matériaux permettent aux utilisateurs de fabriquer certains des composants les plus précis et optiquement précis sur le marché aujourd'hui, ce qui rend ce modèle essentiel pour les producteurs de couches minces qui ont besoin de produits de la plus haute qualité.
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