Occasion AIXTRON Crius 30x2" #293587436 à vendre en France

AIXTRON Crius 30x2 est un réacteur de dépôt de silicium polycristallin conçu pour la production de divers appareils électroniques. Le réacteur utilise une source de plasma haute fréquence avancée et une source d'ablation pour former un film de silicium polycristallin sur diverses plaquettes. Le Crius 30x2 dispose d'une chambre de traitement de 30cm x 2m, ce qui le rend idéal pour une production à grande échelle. La chambre de procédé est en acier inoxydable et est logée dans une chambre de procédé à couplage capacitif polarisé en impulsions et modulé en fréquence. La puissance RF est appliquée à travers une paire d'électrodes en graphite, qui sont reliées à une alimentation haute fréquence. L'alimentation électrique comporte des étages réglables contrôlés en voltages et en fréquences, permettant des conditions différentes telles que des rapports molaires réactifs et des températures de substrat. L'alimentation en gaz de procédé pour AIXTRON Crius 30x2 est constituée d'un mélange de silane et d'un gaz porteur, tel que l'argon. Le silane s'évapore à l'intérieur de la chambre et les réactifs se dissocient pour former des couches de film de silicium polycristallin. La température de la chambre peut être contrôlée par la puissance de chauffage du bloc d'extrémité, où la plaquette est placée. Par ailleurs, AIXTRON Crius 30x2 a un contrôle intégré de la pression, permettant la pression de dépôt appropriée pour l'épaisseur de couche du produit. Les propriétés chimiques et structurelles des films peuvent être contrôlées à l'aide de diagnostics in situ tels que spectroscopie et codeurs optiques. Le réacteur dispose également d'une unité robotisée intégrée qui est utilisée pour transférer les plaquettes et les moniteurs in situ. AIXTRON Crius 30x2 fournit un processus fiable et cohérent pour le dépôt de haute qualité des appareils électroniques et est conçu pour offrir des performances et une fiabilité supérieures dans les environnements de production. Sa conception avancée assure un contrôle précis des processus et une surveillance étroite pour garantir une qualité constante des produits. Ce réacteur offre une solution économiquement efficace pour une production à grande échelle et convient à une variété de procédés de production.