Occasion AIXTRON Crius 31x2 #293587444 à vendre en France

AIXTRON Crius 31x2 est un équipement de gravure d'ions réactifs commercialement disponible qui a été conçu pour un traitement précis et répétable des substrats. Il est équipé d'un système de contrôle de processus avancé qui fournit un haut débit et des résultats reproductibles. Son panneau de contrôle convivial offre un contrôle précis de l'ensemble du processus de gravure. L'unité est équipée d'une puissante alimentation RF transversale de 31 kW, d'une chambre de gravure directe unique, très précise et spécialisée, et d'une machine robot fiable pour le chargement et le déchargement des substrats. L'alimentation RF transversale propriétaire est équipée d'une haute fréquence de tension d'entrée de 13,56 MHz réglable entre 6,0 et 30 W, permettant un contrôle précis des vitesses de gravure. Le processus de gravure est surveillé et ajusté par le contrôleur, qui supporte le contrôle sans contact, même avec de petits substrats, assurant des résultats précis et reproductibles. En outre, la chambre innovante de gravure directe de haute précision est conçue pour minimiser la consommation d'énergie tout en fournissant de grandes profondeurs uniformes de cavité de gravure. En raison de sa grande stabilité et de sa répétabilité, AIXTRON CRIUS 31 X 2 est idéal pour une production et des applications industrielles à haut volume. Il est capable de graver jusqu'à 100 plaquettes avec précision et répétabilité en 10 minutes, avec une taille de plaquette allant jusqu'à 200 mm et une profondeur de gravure supérieure à 20 μ m. En outre, il est équipé de logiciels pour le contrôle prédictif des processus et l'enregistrement des données en temps réel. En outre, il est également compatible avec les recettes de processus COTS standard et les boîtes à gaz. Crius 31x2 est livré avec un robot qui peut être utilisé à la fois comme support dans la chambre de gravure et comme palette pour la manipulation du substrat dans la chambre de chargement avant. Ceci offre une excellente flexibilité pour un maximum de 40 plaquettes à traiter en un seul cycle de processus pour un débit plus élevé. La grande précision de positionnement du processus de déchargement et de chargement réduit les temps d'arrêt, permettant un processus de production ininterrompu. Dans l'ensemble, le CRIUS 31 X 2 est bien adapté aux applications de gravure et de production à haut volume et est conçu avec une gamme de caractéristiques qui maximisent la productivité. Sa précision et sa répétabilité en font un outil fiable pour les applications requises.