Occasion AIXTRON Crius 31x2" #9186414 à vendre en France

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Fabricant
AIXTRON
Modèle
Crius 31x2"
ID: 9186414
Style Vintage: 2009
MOCVD System 2009 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 est un réacteur de nouvelle génération de haute puissance conçu pour des applications de croissance cristalline. C'est un réacteur de type Czochralski horizontal à platine descendante qui utilise un procédé de chauffage à creuset à deux zones pour la croissance du cristal. Ce réacteur utilise un profil de chauffage contrôlé par pyromètre pour réguler les températures du four de 660 à 2400 ° C Ceci offre un contrôle précis de la température pour une large gamme de matériaux, y compris les semi-conducteurs et les matériaux optiques. Le réacteur Crius est équipé d'un système d'admission de gaz et peut facilement supporter une variété de gaz inertes ou de travail. Ce système permet l'oxydation ou le gettering de cristaux à l'intérieur du four selon les besoins. En outre, le réacteur est livré avec une atmosphère contrôlée et des capacités de purge de l'azote, ce qui le rend adapté à tout environnement de croissance. Le réacteur comprend une alimentation commandée par SCR, qui offre des performances élevées en fréquence et une faible distorsion harmonique, réduisant les fluctuations des ondulations et de la tension d'entrée, et maintenant l'alimentation efficace dans les 0,5 % de la tension de consigne. Le réacteur est construit avec des matériaux tout alliage, y compris des aciers et des aciers inoxydables, et est conçu avec des contraintes thermiques minimisées qui augmentent sa durée de vie. Le réacteur de Crius a également une très faible dérive thermique et une excellente stabilité, permettant des applications à basse température contrôlée. De plus, le Crius 31x2 a une conception modulaire qui permet une intégration facile de divers outils de processus, tels que des analyseurs de gaz in situ, des systèmes d'imagerie thermique et d'autres outils de surveillance de processus en fournissant des ports d'accès de surveillance et des capacités d'enregistrement de données. Ce réacteur a une vitesse de rampe programmable et des capacités automatiques de réglage de la température de crête pour maintenir un profil de température précis, assurant une croissance cristalline avec une excellente homogénéité et uniformité. Le Crius 31x2 dispose d'une grande taille de chambre, avec un débit de matériau élevé, ce qui le rend idéal pour les applications de haute production. Le réacteur comprend une uniformité de température de chambre de ± 3 ° C et ± 0,2 ° C de stabilité de température, même en cas de changement de charge ou de débit de gaz. Il est fiable, efficace et convivial, offrant un environnement de croissance cristalline sûr.
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