Occasion AIXTRON Crius 31x2" #9199511 à vendre en France

AIXTRON Crius 31x2 est un réacteur avancé MOCVD (Metal Organic Vapor Deposition) particulièrement bien adapté à la production de dispositifs optoélectroniques tels que LED et lasers. Il s'agit d'un équipement de traitement massivement parallèle AIXTRON, qui permet à la fois des opérations de traitement de plaquettes simples et de lots, avec une configuration pour les plaquettes de 300 et 600 mm. Le système Crius 31x2 offre une gamme impressionnante de capacités, y compris une puissante formation plasma électron-cyclotron-résonance (ECR), ainsi qu'une configuration unique pour l'uniformité des dépôts et le contrôle de la qualité épitaxiale. Ses grandes chambres de traitement sont conçues pour permettre jusqu'à trois entrées de gaz et une autre à distance, pour les mélanges de gaz ou les gaz individuels, pour maintenir un environnement propre et uniforme à l'intérieur de la chambre. La chambre de grande surface permet également un plus grand volume de gaz et un meilleur débit de gaz. Le Crius 31x2 offre deux caractéristiques distinctes pour optimiser la qualité des dépôts épitaxiaux : MESA (Macroscopic Edge-Spread Analysis) et SEMPA (Spatially Extended Molecular Plating Analysis). L'unité MESA fournit une analyse in situ en temps réel pour déterminer la non-uniformité des dépôts au bord de la plaquette (la zone « macroscopique »), tandis que SEMPA, d'autre part, propose une méthode pour vérifier la non-uniformité à petite échelle, à l'échelle spatiale. Ensemble, les deux systèmes contribuent à garantir que le dépôt épitaxial est parfaitement uniforme et de la plus haute qualité. En plus de l'amélioration de la qualité du dépôt, le Crius 31x2 offre également d'autres caractéristiques, telles qu'un contrôle optimisé de la température du substrat avec une uniformité de température de +/- 5 ° C sur une plaquette pleine et une température maximale de 900 ° C Il est également livré avec télécommande d'accès direct, assurant un fonctionnement robuste et fiable de n'importe quel endroit. Dans l'ensemble, AIXTRON Crius 31x2 est une machine MOCVD avancée qui est parfaite pour produire des appareils optoélectroniques de haute qualité. Sa gamme impressionnante de fonctionnalités et de capacités le rend très fiable pour les opérations de traitement de plaquettes simples et de lots, ainsi que pour une variété d'autres applications.