Occasion AIXTRON Crius 31x2" #9383394 à vendre en France
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ID: 9383394
Style Vintage: 2008
MOCVD System
GaN
Chamber
Main pump: EBARA ESA70W-D
Scroll pump
AFFINITY Chiller
RF Generator size: 1210 mm x 1200 mm x 2100 mm (L x W x H)
MO Source: TMGa-1, TMAI-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TMIn-3 (7)
MFC Type: BRONKHORST EL-Flow
Temperature monitor: EPI Twin TT
Hydride lines: NH3-1 / NH3-2 / SiH4
Heater voltage: AC 400V, 3-Phase
Wiring: 4-Wires and ground
Power supply: AC 208/120V, 3-Phase
2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD) métallique à l'échelle commerciale. C'est l'un des principaux réacteurs verticaux de 2 pouces dans le monde et est capable de produire des plaquettes de 200 mm. Le réacteur est fabriqué par AIXTRON, leader mondial des équipements de pointe pour les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Le Crius 31x2 est équipé de bobines inductives à arc divisé, d'un creuset rond en céramique, d'un générateur fixe bipolaire RF et d'un système de manutention des plaquettes à verrouillage de charge. La technologie d'induction utilisée par le Crius 31x2 offre une homogénéité supérieure pour le dépôt de nitrures et d'oxydes. Le creuset rond en céramique offre également une meilleure uniformité thermique pour le dépôt uniforme de couches minces sur les plaquettes monocouches et multicouches. Le Crius 31x2 est également équipé d'un système de régulation de température et de contrôle informatique. Cette caractéristique permet un contrôle précis de la température, ce qui assure une uniformité optimale et un résultat de dépôt. La fonction de contrôle de pression de ce réacteur permet également d'augmenter le rendement et de réduire les déchets. En outre, le réacteur a un haut degré d'automatisation, ce qui contribue à simplifier le processus de fonctionnement et permet une fabrication plus rapide et plus précise des plaquettes. Le Crius 31x2 est fabriqué en acier inoxydable de haute qualité, ce qui le rend très résistant à la corrosion et à d'autres types de risques environnementaux. En outre, le réacteur dispose d'une excellente isolation thermique, ce qui permet une consommation d'énergie minimale et une efficacité accrue. Le Crius 31x2 est également équipé de caractéristiques de sécurité de pointe, garantissant que le réacteur est sûr pour l'exploitation du personnel de gestion ainsi que l'environnement autour de lui. Il dispose de portes de protection électro-traitées pour éviter tout endommagement de l'équipement et garantit la sécurité du personnel. En outre, le Crius 31x2 est conçu pour fournir un large éventail d'applications avec des processus plus longs. Il fonctionne le mieux avec l'introduction de taux de dépôt élevés pour les matériaux plus épais, permettant des processus de fabrication plus efficaces. De plus, le réacteur est équipé d'une grande inspectabilité des outils, ce qui réduit les temps d'arrêt et le temps de diagnostic et de résolution des problèmes techniques. Dans l'ensemble, AIXTRON Crius 31x2 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur métal-organique avancé qui offre une variété d'avantages pour la fabrication de films minces et épais sur des plaquettes simples et multicouches. Sa technologie de pointe, son homogénéité supérieure, ses caractéristiques de sécurité avancées et son automatisation simplifient le processus de fabrication et augmentent la productivité et les rendements.
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