Occasion AIXTRON Crius II #9272522 à vendre en France

AIXTRON Crius II est un outil de dépôt de haute qualité conçu pour répondre aux exigences de la communauté de recherche et industrielle PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Crius II est une version améliorée d'AIXTRON Crius, qui était un outil populaire avec des performances fiables et une large capacité qui était connu pour son transfert rapide de substrat et chambre soudée optionnelle. AIXTRON Crius II améliore son prédécesseur avec un équipement Versa Platform™ amélioré composé d'un système à basse pression, à chambre unique, d'une automatisation complète et de multiples technologies de processus. L'unité Versa Platform™ est conçue pour fournir une solution de PECVD polyvalente, répétable et fiable, tout en offrant une meilleure homogénéité de rendement, un temps de chambre inactif et une flexibilité de procédé. Crius II est livré de série avec une machine programmable de chauffage de substrat, une chambre de pré-nettoyage de substrat et une télécommande avancée de la chambre de dépôt à partir du logiciel de contrôle de la plateforme. De plus, l'unité est livrée avec un outil programmable de distribution de gaz qui peut être utilisé pour délivrer jusqu'à trois gaz précurseurs pour de multiples processus, y compris SiO2, SiN, Ge et Ta2O5. Une caractéristique unique d'AIXTRON Crius II est sa cavité miroir diélectrique avancée avec antenne RF en forme de Z pour une génération efficace de plasma avec des réglages de puissance PLD/PECVD variables. Ceci permet d'améliorer l'homogénéité des dépôts, ainsi que le débit du substrat. De plus, son actif de contrôle de faisceau assure une uniformité de dépôt plate avec un faible effet d'ombre. Crius II a un Modèle de Contrôle et de Moniteur de Viewpoint™ optionnel, qui permet aux opérateurs d'à distance contrôler la santé et la performance de la chambre de déposition dans l'en temps réel. Ce matériel fournit des données à jour sur le processus de dépôt, ainsi qu'un système d'alarme pour alerter les opérateurs de tout problème de processus qui nécessite une attention particulière. Pour plus de commodité, AIXTRON Crius II est également conçu pour être compatible avec d'autres outils AIXTRON, tels que AIXTRON Prodigy Multi-Station Unit et AIXTRON SELECT systèmes de dépôt. Cela permet une polyvalence maximale dans la mise en place d'une machine de dépôt, et garantit que Crius II restera un outil de dépôt fiable et efficace pour les années à venir.