Occasion AIXTRON Crius #9184895 à vendre en France

AIXTRON Crius est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui peut être utilisé pour divers procédés semi-conducteurs. Crius est conçu pour assurer une grande uniformité des taux de dépôt sur de grandes surfaces à des températures et des pressions plus basses que d'autres réacteurs CVD classiques peuvent atteindre. Ce réacteur offre également les coûts de fonctionnement les plus faibles sur le marché. Le réacteur utilise une double tête de douche, ce qui ajoute à l'uniformité du processus de dépôt. Cette configuration force le flux de gaz à pénétrer uniformément de part et d'autre de la chambre, et évite les variations de la quantité de matière déposée à l'intérieur de la chambre. L'utilisation d'une tête de douche circulaire tournante améliore considérablement la douceur du processus de dépôt sur les bords de la chambre. Le réacteur AIXTRON Crius peut atteindre les températures requises par divers procédés semi-conducteurs, avec un maximum de 1500 ° C Crius est équipé de trois condensateurs RF, configurés pour la production de plasma in situ, permettant d'augmenter les performances du réacteur, ainsi que la possibilité de traiter des densités de matériaux plus élevées. Le réacteur peut fonctionner à une pression comprise entre 5 et 6,7 bars, selon les paramètres du procédé. AIXTRON Crius offre également une large gamme de configurations de gaz, permettant une variété d'applications. Les options améliorées de contrôle de processus comprennent la purge automatique de chambre, la commutation automatique de gaz, et la surveillance de processus en temps réel. Crius est également compatible avec la suite logicielle SDK AXR, qui facilite l'intégration du réacteur dans un environnement plus grand. Ce logiciel comprend des capacités avancées de détection d'objets étrangers, ainsi que des fonctions d'acquisition de données de bout en bout, qui intègrent la surveillance de la productivité, la nidification en partie dépendante et le calcul avancé des itinéraires. AIXTRON Crius, avec ses faibles coûts d'exploitation, ainsi qu'un contrôle amélioré des processus et une suite logicielle puissante, est un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs et des cellules solaires.