Occasion AIXTRON Crius #9299684 à vendre en France
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AIXTRON Crius est un équipement de pointe, multi-wafer, à assistance chimique, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) avec une gamme d'options de contrôle précises. Il est conçu pour aider les utilisateurs à déposer des matériaux en couches minces sur des substrats de différentes tailles, tels que des substrats en plaquettes, des bandes souples et même de grands substrats (jusqu'à 594mm). Crius est un réacteur multi-source, multi-zone, ce qui signifie que tout le processus de dépôt est contrôlé dans la même chambre de réaction. Ceci permet un dépôt précis des couches minces à différentes températures et vitesses de dépôt. Le système dispose également d'une surveillance de la température en temps réel et d'une capacité efficace de régulation de la température. AIXTRON Crius utilise diverses sources chimiques, dont l'hydrogène, l'hélium, l'azote et d'autres gaz, ainsi que des éléments réactifs tels que le silicium, le carbone et le tungstène. Cela lui permet de déposer une variété de matériaux, tels que des films ultra-minces pour des applications électroniques et photoniques. L'unité assure également un contrôle précis des paramètres de réaction, tels que les débits de gaz, le temps de réaction et la température de la plaquette, ce qui permet une uniformité sur une grande variété de substrats. La chambre de dépôt de Crius est conçue pour améliorer l'uniformité et la répétabilité, en veillant à ce que les mêmes paramètres exacts soient utilisés pour chaque cycle de dépôt, ce qui donne des résultats cohérents à chaque fois. Cette chambre contient une fenêtre de réacteur à quartz avec des capacités de surveillance des émissions optiques avancées, permettant une analyse détaillée des couches de dépôt. La machine contient également une gamme de capteurs, permettant la surveillance et le contrôle de l'outil, de sorte qu'il fonctionne à un rendement maximal et des niveaux de sécurité maximum. Des alarmes sont en place pour alerter les opérateurs de toute anomalie ou menace potentielle pour le fonctionnement du bien. Dans l'ensemble, le réacteur AIXTRON Crius est un modèle puissant et fiable qui fournit des dépôts précis et une uniformité sur une grande variété de substrats, ce qui permet aux utilisateurs de mieux contrôler les matériaux utilisés et de produire des résultats cohérents à chaque fois.
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