Occasion AIXTRON G10-SiC #293809485 à vendre en France

AIXTRON G10-SiC
Fabricant
AIXTRON
Modèle
G10-SiC
ID: 293809485
System.
AIXTRON G10-SiC est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe spécialement conçu pour la croissance de couches épitaxiées de carbure de silicium (SiC). SiC est un matériau semi-conducteur à bande large qui présente des propriétés électroniques et thermiques supérieures à celles des semi-conducteurs traditionnels à base de silicium, ce qui le rend hautement souhaitable pour l'électronique de puissance, les applications à haute température et les dispositifs optoélectroniques avancés. G10-SiC réacteur dispose de plusieurs caractéristiques clés qui le distinguent des systèmes CVD classiques. Sa conception avancée et ses paramètres de contrôle précis permettent le dépôt de films SiC de haute qualité avec une excellente uniformité, qualité du cristal et contrôle de l'épaisseur. Ce niveau de précision est crucial pour atteindre les propriétés électroniques souhaitées dans les appareils à base de SiC. L'un des aspects les plus remarquables du réacteur AIXTRON G10-SiC est son évolutivité et sa capacité de traitement par lots. Le système est équipé de porteurs de plaquettes multiples, permettant la croissance simultanée de plusieurs plaquettes SiC en une seule fois. Cette capacité à haut débit augmente considérablement la productivité et réduit les coûts de fabrication, ce qui la rend idéale pour la production industrielle d'appareils SiC. La chambre du réacteur de G10-SiC est conçue pour une croissance de SiC de haute pureté, avec une dynamique avancée du flux de gaz et des mécanismes de contrôle de la température pour assurer un dépôt uniforme sur toute la surface de la plaquette. Le système est équipé d'une gamme de sources de gaz, y compris le silane (SiH4) et le propane (C3H8), ainsi que de sources dopantes pour le contrôle précis des niveaux d'impuretés dans les couches épitaxiales. La température joue un rôle critique dans la croissance des couches épitaxiales de SiC, et le réacteur AIXTRON G10-SiC offre un contrôle précis de la température jusqu'à 2000 degrés Celsius. Cette capacité à haute température est nécessaire pour favoriser la formation de structures cristallines de haute qualité et minimiser les défauts dans les films de SiC. G10-SiC réacteur est également équipé de systèmes avancés de surveillance et de contrôle in situ pour assurer une rétroaction en temps réel sur les principaux paramètres de dépôt. Cela permet aux opérateurs d'optimiser les conditions de croissance et d'ajuster les paramètres de processus à la volée pour obtenir les propriétés de film souhaitées avec une reproductibilité élevée. Globalement, le réacteur AIXTRON G10-SiC représente une solution de pointe pour la production industrielle de couches épitaxiales SiC de haute qualité. Sa conception avancée, son évolutivité et ses capacités précises de contrôle des processus en font un outil idéal pour les fabricants qui cherchent à exploiter les propriétés uniques du SiC pour les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération et les applications d'électronique de puissance.
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