Occasion AIXTRON G4 #293762465 à vendre en France

AIXTRON G4 est un réacteur de pointe à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à pression atmosphérique et à pression atmosphérique, utilisé pour diverses applications avancées de dépôt en couches minces. Le réacteur est conçu pour fournir des performances haut de gamme sur une large gamme d'espèces de plasma et de flux gazeux pour des matériaux tels que les semi-conducteurs, les diélectriques et les métaux. Ce réacteur PECVD dispose d'une chambre cylindrique monocellulaire de géométrie interne active de type cloche avec distribution intégrée de gaz. De plus, une antenne annulaire autour de la chambre principale du réacteur est utilisée pour générer un plasma servant à décomposer les gaz de dépôt. Cette conception aide à minimiser la perte d'espèces gazeuses causée par la volatilisation et augmente la densité du plasma pour assurer l'uniformité des dépôts en couches minces sur toute la surface du substrat. Les principaux avantages d'AIXTRON G 4 sont sa grande homogénéité de processus et sa répétabilité sur des substrats jusqu'à 200 mm, son biais de substrat réglable réglable à une gamme de 2 100 V, et la technologie Multichamber Design qui permet des étapes de processus de dépôt très efficaces successivement. Afin de s'adapter à une grande variété de procédés PECVD, le réacteur G4 a également été construit avec une grande variété d'options supplémentaires telles que les débits de gaz réglables, la pression du procédé, la composition du gaz, la spectrométrie de masse en temps de vol, le débit de gaz, le refroidissement, la cartographie de l'uniformité et la réflectométrie in situ. De plus, la fonction QuickMatch de G4 permet d'optimiser les paramètres de processus et les transferts de paramètres incrémentaux sur différentes applications pour garantir des résultats de processus cohérents et éprouvés. De plus, le contrôle avancé des processus (APC) permet de réduire davantage le temps et les coûts de développement des processus. AIXTRON G4 est conçu pour un large éventail d'étapes de processus dans l'environnement de production avec un niveau de vitesse et de précision qui est inégalé par tout concurrent, ce qui le rend idéal pour augmenter les capacités de production.