Occasion AIXTRON G5 #293601017 à vendre en France
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Vendu
ID: 293601017
Style Vintage: 2012
Metal Organic Chemical Deposition (MOCVD) system
2012 vintage.
AIXTRON G5 est un réacteur de recharge horizontale avancé (HOR) conçu spécifiquement pour la production de matériaux semi-conducteurs composés. Ce réacteur est capable de traiter une variété de processus de dépôt allant de l'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) au dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD). Au cœur d'AIXTRON G 5 se trouve la combinaison unique d'isolation brevetée, d'équipement de convoyage et de paroi verticale froide. En séparant la chambre de procédé de la zone chaude par ces composants, on crée un environnement stable pour le dépôt de matériaux semi-conducteurs composés. La caractéristique principale de G5 est son design de grande chambre, mesurant plus de 2,4 m de diamètre. Ceci donne à l'utilisateur l'avantage de pouvoir accueillir en même temps de nombreux substrats et sources de matériaux, ce qui maximise l'efficacité du procédé. Pour gérer cette grande chambre, elle est divisée en deux niveaux fonctionnels, qui peuvent être disposés selon des configurations différentes en fonction de tout procédé de dépôt spécifique. Le niveau supérieur est utilisé pour l'introduction de matières premières et le niveau inférieur est utilisé pour la récupération du produit obtenu. Une autre caractéristique clé de G5 est son système d'isolation breveté. Cette unité est constituée d'un matériau non métallique appliqué sur toutes les parois internes de la chambre, contribuant à réduire les pertes thermiques des systèmes de support de substrat. Grâce à cette machine d'isolation, AIXTRON G5 peut maintenir les températures de travail jusqu'à 10x plus élevées que celles d'un réacteur horizontal classique. L'outil à paroi verticale froide avancé d'AIXTRON G 5 optimise encore l'environnement de la chambre de procédé. Cette caractéristique ingénieuse permet de réduire les changements de température entre le traitement des cassettes de plaquettes et d'autres substrats, ce qui permet un meilleur contrôle du processus de croissance global. Les réglages de l'angle de paroi froide, de la température et du débit peuvent être modifiés manuellement en fonction des exigences du processus. Enfin, G5 dispose également d'un moyen de transport personnalisé qui rend la manutention et le chargement des matériaux plus simples et plus efficaces. Ce modèle de convoyeur est également entièrement automatisé, ce qui permet de contrôler à distance le profil de température du réacteur, le contrôle des gaz et d'autres paramètres. G 5 est donc un équipement de réacteur HOR fiable et puissant avec une gamme impressionnante de caractéristiques et de capacités.
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