Occasion AIXTRON TS 19x2" FT #9135813 à vendre en France

AIXTRON TS 19x2 "FT est un équipement de chambre multi-réacteurs à base de thiophène fluoré de pointe conçu pour des procédés complexes de fabrication de couches minces à haut rendement. Ce système est alimenté par la technologie de source de résonance cyclotron électronique modulée (ECR) AIXTRON qui permet un dépôt de couche efficace à haute température. Ce type de réacteur utilise une combinaison de plasma produit par des micro-ondes ECR et de traitement thermique pour une croissance efficace des couches. Le réacteur comporte une chambre à vide de 20 po de large et offre des capacités de traitement jusqu'à 2900 ° C Ce réacteur est équipé d'un composant de purification et d'analyse des gaz in situ pour assurer un processus stable et répétable. TS 19x2 "FT utilise une unité de pompage à vide, qui est capable de maintenir une pression de processus de 1x10-7 Torr à 1x10-10 Torr. Il est capable de fonctionner sous un large éventail d'espèces gazeuses, soit dans le cadre d'un processus de pré-purge, soit dans le cadre d'un écoulement continu. AIXTRON TS 19x2 "FT fournit un chauffage efficace du substrat et une large gamme de capacités uniformes de dépôt de couche. Les substrats peuvent être chauffés jusqu'à 600 ° C pour assurer une croissance efficace. Le réacteur offre également un fort facteur d'amélioration de la source (SIF) jusqu'à 100, ce qui signifie qu'il est capable de délivrer des dépôts de couches extrêmement uniformes sur des substrats. De plus, cette machine peut fonctionner en mode gaz de recirculation, ce qui permet un meilleur contrôle des procédés et un meilleur rapport coût-efficacité. TS 19x2 "FT est adapté à une large gamme de procédés de fabrication de couches minces, y compris ceux utilisés dans la production d'opto-électronique, de semi-conducteurs et de dispositifs photovoltaïques. Ses capacités hautement fiables et reproductibles en font le choix idéal pour les applications de fabrication à forte demande. La consommation d'électricité et les coûts d'exploitation sont également minimisés grâce à sa technologie de source ECR avancée. L'outil peut également être intégré au logiciel avancé de surveillance des processus AIXTRON, permettant une surveillance et un contrôle complets des processus. AIXTRON TS 19x2 "FT est un choix idéal pour la recherche et les applications industrielles.