Occasion AIXTRON TS OCSH 30X2 #9181587 à vendre en France

AIXTRON TSCOH 30X2 est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur tout-en-un capable de déposer un large éventail de matériaux fonctionnels, y compris des composés organiques, des nitrures, des oxydes et des alliages. Il est conçu pour offrir à la fois une grande flexibilité de processus et une excellente uniformité et contrôle. AIXTRON TSCOH 30X2 est équipé de deux chambres de procédés distinctes, chacune équipée d'un ensemble de composants dédiés. La première chambre offre des capacités d'épitaxie à pression réduite (RPE) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) avec des pressions allant de 0,005 à 20 torr. Cette chambre dispose d'un étage de chauffage supérieur avec un réchauffeur à suscepteur, tandis que l'étage de chauffage inférieur est constitué d'un chauffe-milieu et d'un piston. Le déplacement des étages supérieur et inférieur peut être contrôlé indépendamment jusqu'à 200 mm/s. La deuxième chambre d'AIXTRON TSCOH 30X2 est une chambre de traitement à plus haute température conçue pour les procédés MBE à source solide. Cette chambre dispose d'un étage chauffant supérieur, avec un chauffe-bande hafnium, et un ensemble dipôle chaud comme composant étage inférieur. Cette chambre peut accueillir des pressions de processus allant de 0,001 à 50 torr. Afin de maximiser l'uniformité des couches et d'assurer un contrôle précis et précis des processus, AIXTRON TSCOH 30X2 comprend le contrôle de pression, le contrôle de température et les régulateurs de débit massique. Le système est capable de fournir un cyclage rapide de la température, pour des performances cohérentes, et une analyse de processus puissante assistée par ordinateur. De plus, l'unité permet le contrôle à distance des processus de dépôt de matériaux et le contrôle multi-zone de la chambre de procédé pour un contrôle précis de la température. La sécurité et l'assurance de la qualité sont des caractéristiques importantes d'AIXTRON TSCOH 30X2, car la machine dispose d'un outil de verrouillage de sécurité entièrement intégré, ainsi que d'un outil intégré de détection des fuites de gaz (surveillance N2O. Le fonctionnement entièrement automatisé du modèle permet d'assurer un temps d'utilisation élevé et des rendements de processus cohérents. En résumé, AIXTRON TSCOH 30X2 est une solution de dépôt de polymère et de semi-conducteur tout-en-un qui est conçue pour une flexibilité maximale et un contrôle précis. Il est capable de déposer un large éventail de matériaux fonctionnels et permet un contrôle avancé des paramètres pour des résultats précis et fiables.