Occasion AIXTRON VP 2400HW #9234069 à vendre en France

AIXTRON VP 2400HW est un réacteur à dépôt en phase vapeur sous vide (PVD) pour la recherche-développement et la production de semi-conducteurs. Il est équipé d'une conception de chambre hexagonale unique qui maximise la capacité totale utilisable et permet un échange rapide de substrats et de plaquettes sans étapes supplémentaires de charge/déchargement. Le bouclier chauffant tout en tungstène protège les parois de la chambre et assure un chauffage uniforme pour un dépôt uniforme du film. AIXTRON VP 2400 HW est conçu pour suivre les meilleures pratiques de l'industrie afin d'assurer un environnement sous vide stable et fiable. Son équipement de régulation de température est intégré dans un système à chambre unique qui permet un dépôt uniforme sur de nombreuses plaquettes, ainsi qu'une uniformité de dépôt optimisée sur les plaquettes individuelles. VP 2400HW dispose d'un bloc chauffant rotatif breveté et de plusieurs chambres de traitement, y compris une chambre de traitement principale, une chambre principale en amont et une chambre principale en aval. La chambre de procédé principale comprend un chauffe-tube central en tungstène, une source annulaire de résonance cyclotron électronique (ECR) RF pour l'ionisation des gaz de procédé, et des alimentations cathodiques pour le placement des matériaux cibles. Des creusets à quartz multiples et des vannes de grille isolées peuvent être utilisés pour distribuer le matériau source dans la chambre de procédé. De plus, le VP 2400 HW est équipé d'une source RF supplémentaire qui peut être utilisée pour le bombardement électronique d'échantillons. L'ensemble est équipé d'un logiciel de processus avancé, permettant un contrôle automatisé de la température du processus et d'autres paramètres. Le logiciel de traitement AIXTRON VP 2400HW prend en charge des processus tels que la pulvérisation, le LPCVD, le MOCVD, l'ALD et la surveillance de l'oxydation ECR. Il assure la surveillance de fin de processus, l'analyse en temps réel et l'enregistrement des données. En outre, AIXTRON VP 2400 HW a la capacité d'utiliser plusieurs substrats et matériaux, avec une variété de tailles et de formes de plaquettes allant de 2 à 8 pouces de diamètre. VP 2400HW possède également de nombreuses fonctionnalités pour un fonctionnement facile. Des systèmes de sécurité complets et intégrés sont intégrés, avec des alarmes et des commandes automatiques d'arrêt et d'intervention d'urgence. Le réacteur est conçu pour être sans entretien, avec un accès facile pour la réparation et l'entretien. La machine est également conçue pour une faible consommation d'énergie et des opérations rapides pour une utilisation efficace des ressources et du temps. Dans l'ensemble, le VP 2400 HW est un réacteur à dépôt en phase vapeur sous vide, conçu pour des performances supérieures dans la recherche-développement et la production de semi-conducteurs de pointe. Il est équipé des dernières technologies pour garantir des processus et des opérations précis et efficaces. Il est entièrement conforme aux réglementations en matière de sécurité et d'environnement et a une faible utilisation de la puissance. En tant que tel, AIXTRON VP 2400HW est un excellent choix pour ceux qui recherchent un outil PVD de haute qualité et fiable.