Occasion AIXTRON VP 2400HW #9269833 à vendre en France

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Fabricant
AIXTRON
Modèle
VP 2400HW
ID: 9269833
Taille de la plaquette: 3"
Style Vintage: 2012
SiC Reactor, 3" Type: Modular CVD system Gas handling: Electro polished (316) stainless steels tubing Reactor: Electronic mass flow and pressure controllers Heater: RF-lnduction heater 2x80 kW, 20-50 kHz Maximum reactor temperature: 1600°C MO Temperature control: Recirculating controlled temperature baths Accuracy: 0.05°C Range: -10°C to +60°C Mass flow control: Electronic mass flow controllers (HiTec) Pressure control: MKS Baratron and valves Back pressure controllers: HiTec Power consumption: 22 kVA (Max) Vacuum system: EBARA ESA70WD Dry pump Pressure sensor Throttle valve Pressure control Vacuum valve Cooling water system: Digital flaw meters with data logging Thermocouples for cooling water temperature monitoring 2012 vintage.
AIXTRON VP 2400HW est un réacteur spécialement conçu pour la production de composés et de matériaux semi-conducteurs organiques métalliques. Il est basé sur une conception de suscepteur horizontal et est capable de traiter des plaquettes de 2 « à 8 ». L'environnement du réacteur est contrôlé par un système de contrôle informatique en boucle fermée qui facilite la surveillance, la mesure et le réglage des paramètres du procédé. Le réacteur est composé d'une pompe Anderson, d'une chambre de réaction et du dissipateur thermique. La pompe Anderson aide à créer le vide nécessaire au processus, tandis que la chambre de réaction contient les matériaux sources qui sont évaporés, et le dissipateur de chaleur refroidit la chambre. La chambre contient également trois zones de chauffage : le suscepteur, les parois latérales et le fond de la chambre qui peuvent être réglés indépendamment pour atteindre avec précision les températures souhaitées. Le réacteur fonctionne selon les principes de la technique de pulvérisation magnétron à courant continu (DC). Cette méthode utilise un champ électrique dynamique pour accélérer les particules chargées (ions) vers un matériau cible. En atomisant ces matériaux cibles, AIXTRON VP 2400 HW est capable de produire une très forte adhérence entre les matériaux et produit des films matériaux avec une homogénéité précise. Le réacteur présente plusieurs caractéristiques qui assurent un contrôle précis des paramètres du procédé. Le programme temps-température en cinq étapes permet de contrôler directement la température et la vitesse de réaction. Cette fonctionnalité est combinée avec une recette informatisée et un processus répétable pour assurer la sécurité et la cohérence du travail. VP 2400HW est équipé d'une série de dispositifs de sécurité pour aider à protéger les opérateurs contre l'exposition accidentelle aux matières dangereuses utilisées dans la réaction. Les caractéristiques de sécurité comprennent le système de verrouillage de sécurité, qui ferme le système en cas d'urgence, ainsi que les volets de sécurité qui aident à empêcher l'ouverture accidentelle de la porte du réacteur pendant le fonctionnement. VP 2400 HW est un réacteur fiable et efficace pour la production de composés et de matériaux semi-conducteurs organiques métalliques. Avec son environnement contrôlé par ordinateur, un contrôle précis des températures et des caractéristiques de sécurité, il rend le traitement des matériaux sûr, rentable et reproductible.
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