Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286
ID: 9043519
MCA E-Chuck ESC, 12".
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286 est un procédé CVD (dépôt chimique en phase vapeur) avancé et fiable. Il est conçu pour la production en grand volume de dispositifs opto-électroniques tels que des semi-conducteurs, des dispositifs optiques, des écrans plats et d'autres produits connexes. Le réacteur utilise une chambre de réaction à quartz qui est chauffée par induction RF (radiofréquence). Cette chambre contient également une entrée de gaz, une sortie d'effluent, un porte-substrat et un chargeur/déchargeur de plaquettes. Le réacteur est capable de déposer sur des substrats des couches minces de divers matériaux tels que l'aluminium, le titane, le cuivre, le silicium... Il peut également déposer des films passivés d'oxyde, de nitrure et d'hydrogène, ainsi que des dopants comme le bore, le phosphore, l'arsenic et le gallium. Le réacteur est capable de fonctionner à des températures allant jusqu'à 1100 ° C, selon les matériaux déposés, tout en conservant un haut niveau d'uniformité. AMAT 0010-01286 propose le chargement et le déchargement des plaquettes à distance dans un support de substrat, ainsi que la surveillance et le contrôle embarqués. Cela garantit la précision et la répétabilité du processus de dépôt. Le réacteur utilise une vanne de pression d'air de haute précision, permettant un flux de processus agressif avec contrôle du débit d'impulsions de gaz multiples. On obtient ainsi une grande homogénéité de dépôt, avec des charges partielles à des températures élevées maintenues sur le substrat cible. Grâce à seize gaz de procédé et à des contrôles de débit à haut rendement, APPLIED MATERIALS 0010-01286 est en mesure d'obtenir une flexibilité et des transitions de cycles de production souples, permettant des changements rapides de vitesse de production. Son interface utilisateur à écran tactile automatisé est configurée pour faciliter l'installation et la maintenance rapides, ainsi que le fonctionnement et la surveillance des opérations du réacteur. Des normes de sécurité élevées sont maintenues au 0010-01286, avec des alarmes de sécurité redondantes, ainsi que des arrêts d'urgence, empêchant toute situation dangereuse. Ses performances et sa fiabilité élevées, combinées à son interface conviviale, en font un choix idéal pour les applications nécessitant la répétabilité des processus, l'uniformité et l'efficacité globale.
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