Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750 à vendre en France
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ID: 293665750
Taille de la plaquette: 8"
ESC Heater assembly, 8"
MCA D
SNNF
MCA+, 8"
WSiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 est un équipement de réacteur fabriqué par AMAT, Inc. pour une large gamme de procédés industriels. Il est spécifiquement conçu pour améliorer la production, la précision et le contrôle des processus lorsqu'il est utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avant. Le système du réacteur utilise une combinaison de plasma réactif chauffé et refroidi pour créer une réaction chimique qui peut être utilisée pour déposer avec précision et précision le matériau sur une surface. AMAT 0010-03254 est composé d'une chambre de réaction en acier inoxydable, d'un générateur magnétique haute fréquence, d'un transformateur de couplage haute tension à un étage, d'une source de plasma haute tension et d'une alimentation RF alimentée par un générateur. Le plasma réactif chauffé et refroidi est généré par le magnétron et alimenté par le générateur haute fréquence. Le transformateur de couplage haute tension est alors capable de réguler avec précision la sortie plasma de tension et de courant vers la chambre de réaction. APPLIED MATERIALS 0010-03254 est régi par un contrôleur programmable qui permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de chaleur et de réaction pour personnaliser le processus pour des besoins spécifiques. La chambre de réaction est capable de produire de l'azote réactif, de l'oxygène, de l'hydrogène et du chlore pour oxyder et passiver les surfaces avant le dépôt. La chambre de réaction peut également réaliser un dépôt de pureté élevée en contrôlant avec une grande précision les gaz d'alimentation tels que l'argon, le krypton, le xénon et l'hélium. 0010-03254 est conçu pour la précision et le contrôle avec la vue programmée, la pression, la chaleur et le contrôle du gaz pour permettre un polissage chimique-mécanique spécialisé. Il dispose d'une chambre de serrure pour permettre l'entrée et la sortie des échantillons et des cassettes et a intégré le débit de gaz pour la chimie sèche et humide. L'unité du réacteur est supportée par un poste d'extrémité restaurable et un support de bateau en quartz ou en graphite qui peut maintenir jusqu'à huit plaquettes. Il dispose également d'une entrée de température supplémentaire pour contrôler d'autres techniques de préchauffage de wafer-boat. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 est une machine à réacteurs multifonctions conçue pour améliorer le contrôle et la précision des processus de production et de fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'une chambre de réaction en acier inoxydable, d'un générateur magnétique haute fréquence, d'un transformateur de couplage haute tension, d'une source de plasma haute tension et d'une alimentation RF alimentée par un générateur. Le contrôleur programmable permet aux utilisateurs de personnaliser le processus pour des besoins spécifiques et il offre une chambre de serrure, une station d'extrémité réparable et une livraison de gaz intégrée. De plus, il dispose d'une entrée de température supplémentaire pour contrôler d'autres techniques de préchauffage de wafer-boat.
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