Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269048 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843 est un réacteur de dépôt en phase vapeur conçu pour déposer un film mince sur un substrat. Le réacteur est capable de travailler avec des matériaux oxydes métalliques, permettant aux utilisateurs de créer des dépôts simples ou multicouches avec une variété de propriétés de couches minces souhaitées. La conception du réacteur a une pression de chambre de dépôt ultra basse, et dispose d'une source de radiofréquence pour chauffer le substrat. Le réacteur est également équipé de parois en quartz pour permettre un transfert de chaleur efficace et pour maintenir la température de l'intérieur assez cohérente. La puissance micro-ondes contenue est réglable avec un design breveté « refroidi à l'air » qui aide à réduire la perte d'énergie. Le réacteur est de type à pression neutre d'orientation verticale, permettant à l'utilisateur de déposer du matériau de part et d'autre du substrat. Le substrat est maintenu dans un porte-plaquettes à faible masse thermique (LTM) qui a un flux de gaz à co-courant d'eau (WCGF) pour un transfert de chaleur efficace. Ce support est positionné au fond du réacteur de sorte que l'excès de matériaux puisse être facilement recueilli ultérieurement. Cette conception ainsi que sa disponibilité réglable en pression en font un système parfait pour créer des films multicouches pour la fabrication de semi-conducteurs. En outre, le réacteur comporte également quelques caractéristiques de sécurité incorporées dans sa conception. Cela comprend de nombreux capteurs possibles de composés organiques volatils (COV) qui détectent la présence de fumées toxiques à n'importe quel moment du fonctionnement du réacteur et peuvent s'arrêter si des niveaux dangereux sont détectés. Le réacteur dispose également d'un système d'arrêt de flamme et de mise à la terre pour les éventuels incendies de gaz. Globalement, la conception du réacteur de dépôt en phase vapeur AMAT 0010-03843 offre aux utilisateurs une flexibilité maximale lors du dépôt de leurs films multicouches, tout en offrant des caractéristiques de sécurité qui assurent la sécurité de l'opérateur. Avec sa pression réglable ainsi que des équipements supplémentaires pour garantir la qualité et la précision, cela fait du réacteur un système parfait pour ceux qui cherchent à créer des films multicouches à couches minces fiables et robustes.