Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075 à vendre en France

ID: 293658075
CVD Chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010 est un réacteur constitué d'une chambre de réaction cylindrique, d'une longueur typiquement d'environ 5 pieds et pouvant atteindre un demi-pied de diamètre. Ce réacteur est conçu pour le chargement par le haut et également équipé d'un système de levage pour permettre un chargement facile. Il peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre. Ce réacteur est composé d'un corps qui entoure la chambre de réaction et qui est maintenu avec une gamme de niveaux de pression, de température et de gaz. La chambre est étanche aux gaz et est conçue pour éviter la contamination croisée d'autres étapes du processus. En outre, le réacteur peut être personnalisé avec différentes configurations pour répondre aux besoins du client. Un substrat (ou échantillon) est introduit dans le réacteur par le tube d'alimentation supérieur et est ensuite soulevé au fond de la chambre de traitement puis chargé sur la plate-forme de levage. Un réchauffeur rotatif de type revolver est ensuite utilisé pour chauffer et pomper les gaz de procédé, tout en contrôlant la température et la pression, qui sont maintenus par un contrôleur. Après traitement du substrat, celui-ci est évacué vers le collecteur à vide, où des récipients de collecte de produits peuvent être fixés. Les composants non sous vide du réacteur sont construits en acier inoxydable, tandis que différents matériaux sont utilisés pour les brides et connecteurs compatibles avec le vide. Les composants sous vide comprennent typiquement un corps soudé en acier inoxydable avec une lame d'aluminium composée d'inserts en céramique, qui permettent une meilleure étanchéité et est conçu pour diminuer la contamination. Le réacteur dispose également d'une variété de mesures de sécurité et de surveillance, comme des capteurs de pression, des capteurs d'oxygène et de gaz combustible et des capteurs d'eau de refroidissement. De plus, le réacteur fournit un avertissement audible et visible en cas de surchauffe ou de surpression. De plus, le réacteur offre un système automatisé pour l'arrêter en cas d'urgence. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT 0010-09010 est un système fiable et robuste qui peut être personnalisé pour répondre aux exigences du client et offre un ensemble complet de fonctions de sûreté et de surveillance qui garantissent la sûreté et la qualité des résultats des processus.
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