Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09103 #293658078 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09103 Le réacteur est un outil de production automatisé utilisé pour la gravure et le nettoyage des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Construit avec une chambre de procédé sous vide, l'équipement est équipé d'un système de hucking électrostatique (ESC) pour un positionnement et une rotation uniformes des plaquettes. Le réacteur a une conception de co-planarité verticale, qui assure le dépôt des substrats en parallèle par rapport aux électrodes pour une homogénéité supérieure du procédé. Offrant des solutions de gravure et de nettoyage fiables avec une répétabilité de wafer à wafer de haut niveau, c'est un choix idéal pour l'ingénierie de production. Son fonctionnement automatisé est contrôlé par un ordinateur à pleine capacité avec une interface utilisateur avancée. Il est équipé d'une unité de contrôle de processus précise, d'une machine vidéo numérique, d'une mesure de courbure en direct et d'un outil de refroidissement. Un actif de livraison de gaz ionisé est également disponible, fournissant un processus de gravure stable, uniforme et précis. Ses capacités de chargement et de déchargement automatiques assurent également que le substrat reste dans la même position tout au long du processus. Le réacteur AMAT 0010-09103 est capable de réaliser une grande variété de procédés, y compris l'enlèvement d'oxyde, la gravure sélective, le dépôt de couches minces, la gravure anisotrope et la gravure profonde de silicium avec contrôle du procédé et uniformité améliorée du substrat traversant. Il est conçu pour une gamme étendue de substrats, de tailles de substrat et de conditions environnementales, avec la capacité de mettre en œuvre une gamme de systèmes d'alimentation en gaz de procédé pour assurer une gravure fiable. Le modèle sous vide est conçu pour un niveau de vide élevé et des performances supérieures du procédé, offrant un contrôle de température supérieur, une surveillance de la température du quartz et une température de four réglable. L'équipement est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, dont un interrupteur d'arrêt d'urgence, des relais d'interception et des moniteurs de poussière. Il comprend également un système sophistiqué de surveillance des processus, le réglage des niveaux de puissance et une interface graphique tactile. Le réacteur offre une excellente uniformité et un excellent débit, ce qui en fait un choix idéal pour l'industrie de l'ingénierie de production.