Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293602314 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 est un réacteur à processus multi-composants, multi-zone qui est utilisé principalement dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour des applications incluant l'oxydation, la nitridation et la gravure de couches minces. Le réacteur est typiquement monté sur un support de bague, et est utilisé pour l'automatisation du traitement des empilements de couches minces. Le réacteur AMAT 0010-09416 est composé de deux parties principales, la chambre de procédé et la bride. La chambre de procédé est un boîtier qui contient jusqu'à quatre zones de processus multi-zones. Chaque zone est chauffée à l'aide d'une source RF standard de 2000 watts et peut être contrôlée indépendamment et réglée à différentes températures. La bride est une bride spécialement conçue qui relie mécaniquement la chambre de procédé au système de vide. La chambre de process est divisée en quatre zones de process. Chaque zone est séparée par un ensemble de table de plaquettes à base réglable et a une source de haute température séparée Lampe ou lampe sans fil. La table de base réglable permet de déplacer la plaquette horizontalement par des moteurs pas à pas, en la cartographiant dans les différentes zones pour différents processus. La température dans chacune des zones est contrôlée indépendamment et réglée à des températures allant de la limite de -50 ° C à la limite maximale de + 1000 ° C avec une puissance totale pouvant atteindre 2000 watts. Le système de vide du réacteur comporte une ligne d'évacuation qui est reliée à la bride. Il est alimenté par une pompe électronique à moteur et fournit une pression maximale de 500 mTorr. La ligne d'échappement est également reliée à la bride et a une pression allant jusqu'à 1 Torr. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur 0010-09416 a un poids global de 290lb et des dimensions de 43,5in (H) x43,5in (W) x21,5in (L). Il est équipé d'une vanne d'arrêt de sécurité, d'un moniteur de débit numérique et d'un orifice d'échappement avec soupape de sécurité. Il est conçu en tenant compte de la sûreté pour s'assurer que le réacteur fonctionne conformément aux règles de sécurité applicables. En conclusion, le 0010-09416 est un réacteur multi-composants multizone conçu pour le traitement des empilements de couches minces dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé d'une vanne d'arrêt de sécurité, d'un moniteur de débit numérique, d'un orifice d'échappement et plus, et est conçu pour fonctionner conformément aux règles de sécurité applicables. Par conséquent, le réacteur est un outil efficace pour des applications à haute température comme l'oxydation, la nitridation et la gravure de couches minces.