Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293618132 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 est un réacteur de gravure spécialement conçu pour le dépôt de couches minces. C'est un réacteur de gravure à haut débit de grande capacité qui est utilisé pour le traitement à grande échelle des plaquettes semi-conductrices. Ce réacteur peut être utilisé pour des procédés de dépôt en couches minces, de cendrage à base de plasma et de gravure. Il est équipé d'une technologie plasma améliorée à haute pression pour le dépôt de couches minces avec des temps de cycle plus rapides et une uniformité améliorée. Le réacteur AMAT 0010-09416 est constitué d'une chambre de gravure interne et d'une chambre de source concentrique externe. La chambre interne est utilisée pour contenir le graveur, tandis que la chambre externe contient une source d'énergie plasmatique. La chambre source est équipée de six torches concentriques capables de régler le niveau d'énergie et le débit de gaz. Les torches sont utilisées pour balayer la plaquette et contrôler précisément la vitesse de dépôt. L'équipement est automatisé, avec un apprentissage machine en nuage permettant un contrôle précis du processus de gravure. Le réacteur est capable de générer des motifs de gravure très précis, qui sont essentiels pour les procédés semi-conducteurs avancés. Le système dispose d'un moniteur de processus intégré qui fournit un contrôle détaillé et l'analyse des données du processus de gravure. Le réacteur dispose également d'une unité terminale spécialisée avec stockage de plaques/bandes, transfert automatisé et nettoyage optimisé des chambres. Cette unité permet de maximiser le débit de la plaquette et de minimiser les dommages de la plaquette. Il permet également des mesures précises du volume gravé, assurant une gravure précise et conduisant à de meilleurs résultats. Le suivi du processus enregistre le processus de gravure complet, permettant le développement et l'optimisation du processus. L'ensemble est conçu pour être flexible et a été conçu pour mettre en œuvre des processus de gravure avancés. Il dispose de diagnostics avancés pour identifier et corriger les anomalies, tandis que sa machine de diagnostic intégrée peut être utilisée pour identifier les anomalies dans le processus et faire des corrections. L'outil est conforme à l'EPA et est également certifié EMC pour sa compatibilité avec d'autres équipements. Il peut également être intégré à des systèmes d'automatisation pour un fonctionnement rapide, efficace et précis. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 0010-09416 est un réacteur de gravure de pointe qui offre des performances fiables, des résultats précis et un débit élevé. L'actif a été conçu spécifiquement pour le dépôt avancé de couches minces, éliminant le besoin de configurations complexes de chambres, tout en assurant un contrôle précis du processus de dépôt. Ce réacteur de gravure est la solution idéale pour le traitement à grande échelle des plaquettes.
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