Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9005021 à vendre en France

Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 est une combinaison de source de plasma à distance et de réacteur conçu spécifiquement pour les procédés de gravure, de dépôt et de nettoyage dans l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur est équipé d'un générateur de radiofréquence à fréquence variable qui génère une forme d'onde haute fréquence de faible puissance adaptée à la gravure de matériaux tels que SiO2 et Si. Le plasma généré par le générateur est ensuite introduit dans la chambre du réacteur, où il sert à activer les molécules précurseurs qui se déposent ensuite sur la plaquette. La chambre du réacteur permet également un contrôle précis de la température et de la pression du procédé. La chambre du réacteur est conçue pour fournir des procédés uniformes et répétables avec de faibles niveaux de contamination. Une tête de douche plasma est utilisée pour répartir le plasma de façon homogène sur la surface de la plaquette, tandis qu'une phase de mouvement horizontale de la plaquette est utilisée pour obtenir un profil de gravure et une vitesse uniformes. Le gaz inerte est introduit dans la chambre par injection de gaz supérieur et inférieur pour contrôler la pression et la température du gaz dans la chambre du réacteur. La chambre fonctionne dans une plage de température de fonctionnement de -20 ° C à 180 ° C et des pressions allant jusqu'à 1 Torr. Le réacteur peut être configuré soit comme une seule plaquette, soit comme un système par lots avec jusqu'à six chambres. Le système à six chambres est équipé d'un logiciel de contrôle des processus et d'un schéma tridimensionnel de l'ensemble du processus. Ce logiciel permet à l'ingénieur de contrôler avec précision les paramètres souhaités tels que la pression, le débit et la température du plasma tout au long du processus. Le système offre une gamme d'options de pression de fonctionnement, y compris ultra-basse pression, haute dépression et pression atmosphérique, de sorte que le processus appliqué peut correspondre aux exigences du processus du client. Le réacteur AMAT 0010-09416 est un outil puissant et fiable pour un large éventail de tâches de traitement des matériaux. Avec son contrôle précis et reproductible des procédés, ses paramètres de fonctionnement flexibles et ses faibles niveaux de contamination, le réacteur est un choix idéal pour produire des structures de haute qualité pour l'industrie des semi-conducteurs.