Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9111980 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 est un réacteur à double chambre en plaquettes qui offre un contrôle et une flexibilité inégalés pour les procédés avancés utilisés dans la fabrication de dispositifs et la recherche. Cette chambre dispose d'un environnement propre avec un contrôle de température serré, des sources de gaz de haute qualité et un fonctionnement fiable à long terme. Il est conçu pour travailler avec des processus de production ou des tâches de recherche qui nécessitent des performances et une manipulation avancées. AMAT 0010-09416 dispose d'une seule chambre cathodique en acier inoxydable et d'une chambre supérieure en quartz pouvant être utilisée pour l'anodisation, le nettoyage, la désorption, la croissance d'oxyde en vrac et les dépôts. La chambre cathodique comporte trois sources radiofréquence (RF) à couplage inductif et une source de résonance cyclotron électronique (ECR). La source ECR est capable de générer un plasma uniforme à l'aide de champs électromagnétiques pour chauffer et ioniser le matériau. Les trois sources RF travaillent indépendamment pour fournir différents niveaux de puissance RF, ce qui permet d'obtenir des profils de dépôt précis et personnalisés. Les sources RF peuvent également être utilisées pour créer des conditions de traitement plasma ultra-rapides, une caractéristique rendue possible par la limite supérieure de la puissance RF de la chambre. La chambre a une capacité à haute température allant jusqu'à 1200℃ et une capacité à basse température allant jusqu'à -50 ° C Cette plage est maintenue par une combinaison d'une fibre chauffante et d'un canal de refroidissement à l'intérieur de la chambre. La masse thermique ultra basse de la chambre contribue également à la précision de la régulation de la température. La chambre comprend également un système de vide avancé qui est optimisé pour le vide ultra-élevé et dispose d'une plage de pression de 5 bars. Pour optimiser encore les performances de traitement, APPLIED MATERIALS 0010-09416 propose une multitude d'options sophistiquées de livraison de gaz. Plus précisément, le réacteur est équipé de deux régulateurs de débit massique (MFC), de cinq conduites de gaz et d'un système de surveillance des conduites de gaz. Les MFC permettent des flux de gaz accordables et permettent aux utilisateurs de tirer parti de caractéristiques telles que la livraison dynamique de précurseurs. Les cinq conduites de gaz sont conçues pour traiter une variété d'espèces de gaz et de combinaisons de mélanges. Le moniteur de conduite de gaz peut être utilisé pour mesurer les profils de gaz à l'intérieur de la chambre, ce qui permet aux utilisateurs de tenir compte des vitesses de production dépendantes de la température. 0010-09416 est la solution idéale pour les applications qui exigent les plus hauts niveaux de performance et de contrôle des processus. Sa gamme complète de caractéristiques, de flexibilité et de capacité le rend adapté à l'utilisation dans tout développement de processus ou environnement de production.