Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 Le réacteur est un outil de fabrication évoluée polyvalent et fiable conçu pour les procédés de dépôt en phase vapeur tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Ce réacteur combine température, pression et temps pour atteindre les conditions spécifiques requises pour des procédés tels que précurseurs, sources dopantes et conversion catalytique. Il peut accueillir jusqu'à six stations de chargement de cassettes/bateaux pour accueillir des substrats, des creusets, des sources ou d'autres composants de processus. Le réacteur utilise un four à chambre qui est capable de chauffer jusqu'à une plage de température de 25 ° C à 1000 ° C, et est capable d'atteindre l'uniformité de température et la stabilité dans la chambre. L'induction de bobine RF de type U ABB, le débitmètre de gaz audible et un contrôleur de débit massique multi-voies sont intégrés au four de chambre pour assurer une stabilité maximale de la température. Ce réacteur facilite le contrôle de l'atmosphère dans la chambre à l'aide d'un équipement de purge et de gaz inerte. Le module ABB UV-SiC est intégré pour fournir un niveau supplémentaire de contrôle de processus et d'uniformité de température. Le réacteur AMAT 0010-09750 utilise un système à vide haute performance, capable de réaliser un vide jusqu'à 7x10-7 Torr. Il contient également un élévateur de substrat de haute précision, permettant une précision de positionnement fine et Wafer Capability. De plus, le réacteur peut également être interfacé avec différents milieux de procédé tels que liquide, vapeur et gaz. Cet objectif est atteint grâce à l'intégration d'un insert de boîte à gants * approuvé par l'ASC, d'une bride sphérique et d'un aliment chimique qui permet d'ajouter et d'éliminer correctement différents milieux de traitement dans le réacteur. Le réacteur dispose également d'une unité de contrôle programmable PLC, assurant la cohérence des processus et la tenue des dossiers. Sa conception d'interface conviviale permet à l'utilisateur de fonctionner et de contrôler facilement le réacteur. En outre, la maintenance du réacteur est facilitée par l'intégration d'une tour à vide et d'un collecteur de gaz, ce qui permet de maintenir un niveau de vide adéquat pour un fonctionnement efficace. En conclusion, APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor est un réacteur tout-en-un doté d'une technologie de pointe, de systèmes de contrôle optimisés et de capacités de traitement avancées, ce qui en fait un outil idéal et puissant pour les procédés de fabrication avancés.