Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9026400 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute température pour la production de matériaux pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur est conçu avec plusieurs chambres et éléments chauffants, permettant une gamme de températures et de types de dépôts. La chambre est constituée d'un tube à quartz situé à l'intérieur d'un four à tubes rentrant. Un réseau de chauffages résistifs externes et une boîte de blindage isolée externe entoure le tube à quartz. Cette conception permet le chauffage du tube et le dépôt d'une gamme de matériaux. L'élément chauffant alimente le tube en quartz et son contenu est chauffé à des températures supérieures à 1000 ° C Il a une plage de température de 500 à 1100 ° C avec des incréments de 30 ° C entre les points. L'homogénéité de la température à l'intérieur de la chambre est contrôlée par quatre zones thermiques commandées indépendamment, qui peuvent être ajustées pour répondre aux besoins des différents procédés de dépôt. La conception permet également le refroidissement à l'eau du four afin de ne pas dépasser la limite thermique supérieure de l'élément chauffant. La conception permet également l'introduction d'oxygène et/ou d'azote ainsi que d'une gamme de gaz activés ou de gaz précurseurs. Ceux-ci peuvent être injectés à des débits contrôlés via des régulateurs de débit massique pour délivrer un débit précis aux substrats. Il a également la capacité de fournir une large gamme de mélanges de gaz pour différents procédés. Le débit de gaz est contrôlé pour assurer l'uniformité dans toute la chambre. Le procédé de dépôt est contrôlé à l'aide d'une interface informatique. Il permet à l'utilisateur de contrôler avec précision et précision la température, la pression et le débit des gaz. Le réacteur est également équipé d'un ellipsomètre in situ et d'un ellipsomètre spectroscopique. Ces outils fournissent aux chercheurs une rétroaction en temps réel pendant l'élaboration des processus. AMAT 0010-09750 est un outil idéal pour la recherche et le développement pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre un contrôle précis de l'environnement et permet de multiples types de dépôts, ce qui en fait un outil inestimable pour de nombreuses industries.