Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 est un réacteur de procédé idéal pour les applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de traitement thermique rapide (RTP). C'est un grand vaisseau rectangulaire en acier inoxydable, rempli de gaz inerte, et équipé de plusieurs ports qui sont scellés par des joints toriques. Un ensemble rotatif d'étanchéité monté axialement est utilisé pour ouvrir et fermer les orifices, tandis qu'un four de convection est utilisé pour maintenir la température de la chambre. Le navire est construit en 304 SS et a un diamètre de 8 po (20 cm) et une hauteur de 6,5 po (17 cm), et un volume de 1 000 pouces cubes (16 litres). La pression du récipient est de 40 psig (2,75 barg). Un porte-implant rotatif interne est monté axialement au centre de la chambre et peut supporter six (6) plaquettes jusqu'à 4 "de diamètre. La chambre peut être équipée d'un maximum de trois (3) entrées de gaz de procédé, et de deux (2) échappements pour permettre un cyclage rapide et dynamique des procédés. La chambre est chauffée à l'aide du four de convection référencé ci-dessus. Ce four est construit en 304 SS avec une plage de température de 20 ° F-950 ° F (7 ° C-510 ° C). Le four est à température PID contrôlée et a une uniformité ± 5 ° F (± 2 ° C). La vitesse de chauffage est programmable jusqu'à 650 ° F/min (354 ° C/min). La chambre est également équipée d'un ventilateur à vitesse variable, permettant un flux d'air convectif dans la chambre. AMAT 0010-09750 est conçu pour une variété d'applications CVD et RTP. Avec son joint rotatif manuel monté axialement, sa grande capacité et son chauffage convectif, il est l'un des réacteurs les plus efficaces disponibles. Sa capacité de cycle rapide des gaz de processus, combinée à son chauffage uniforme, le rend idéal pour un débit élevé et des résultats cohérents. Il est capable d'atteindre des taux de dépôt élevés avec des températures basses, réduisant ainsi les temps de cycle. Ce réacteur est parfait pour tout laboratoire à la recherche d'un système CVD ou RTP fiable et efficace.