Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9410316 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 est un réacteur de gravure/nettoyage à plasma incorporé conçu pour obtenir un niveau optimal de fixation d'électrons et un débit de gaz qui est essentiel aux processus de gravure de plasma. Ce système est utilisé pour nettoyer et graver les substrats dans la fabrication de semi-conducteurs. AMAT 0010-09750 est un réacteur tout-en-un qui est conçu pour fournir une source d'alimentation électrique intégrée, le contrôle du vide et la régulation de la température, permettant un processus de gravure stable et de haute précision. Il utilise une bobine d'induction pour créer et maintenir un plasma constant à haut niveau en maintenant la fixation électronique in situ. De plus, la puissance RF de la bobine d'induction est réglable, et les flux de gaz formant la cuve peuvent être réglés/mesurés avec un régulateur de débit massique. Les dimensions de 0010-09750 mesurent 28 pouces de largeur, 49 pouces de profondeur et 79 pouces de hauteur. Le réacteur est principalement construit en acier inoxydable et dispose d'un plénum supérieur plat et de deux chambres semi-circulaires. Cela permet la trempe efficace des taux de plasma et d'Etch. L'environnement sous vide des réacteurs est créé par une combinaison de pompes mécaniques et turbo-moléculaires et la chambre est maintenue dans un état de vide élevé, permettant le traitement plasma optimisé des substrats. La chambre intérieure des MATÉRIAUX APPLIQUÉS 0010-09750 est recouverte d'un matériau résistant au processus de gravure et qui réduit le collage des produits et autres le long des parois du réacteur. De plus, le plancher est biseauté pour maximiser l'utilisation de l'espace de la chambre. Enfin, permettre le contrôle de la température est un système de refroidissement à eau personnalisé de haute puissance. Cela réduit considérablement la chaleur générée lors de la gravure, permettant à 0010-09750 d'effectuer efficacement le processus de gravure sur une large gamme de matériaux de substrat. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 est un outil idéal pour la gravure/nettoyage plasma pour l'industrie des semi-conducteurs. Sa combinaison de la source d'énergie inductive et du contrôle du vide, de la construction en acier inoxydable et du système de refroidissement personnalisé garantit que le traitement du plasma est à la fois sûr et efficace.
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