Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293656972 à vendre en France

ID: 293656972
MCA Heater.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516 est un réacteur conçu pour le dépôt de couches minces. Il s'agit d'un prober monobloc monté avec chambre de procédé et module rétractable Robot Arm. Il a une section supérieure et inférieure et permet le transport vertical de processus. La section supérieure comprend une chambre de procédé en quartz avec des broches de levage pour le support des plaquettes, les contrôles de débit de gaz, la filtration HEPA, les assemblages de nettoyage in situ et les vannes d'alimentation en gaz. La section inférieure comprend un module rétractable Robot Arm, qui supporte des plaquettes de procédé pendant le processus de dépôt. La chambre de procédé a une grande fenêtre de 256 mm qui est construite à partir de quartz haute alumine. Cette fenêtre permet une inspection visuelle de l'échantillon pendant le traitement. La chambre de processus offre également un entraînement à rouleaux à vitesse réglable qui prend en charge les applications haute et basse particules. De plus, la chambre contient une broche élévatrice et un ensemble chauffant pour une manipulation précise des plaquettes et un processus thermique répétable. Le Robot Arm supporte les plaquettes de la chambre de processus au module d'échantillonnage et au dos. La partie supérieure du Robot Arm est équipée d'un ensemble de prélèvement conçu sur mesure pour le réacteur AMAT 0010-12516. Cet ensemble aide au positionnement précis et à la rotation des échantillons de plaquettes. L'ensemble est équipé d'un dispositif de chauffage intégré pour le contrôle thermique. APPLIED MATERIALS 0010-12516 est un réacteur très polyvalent qui peut être utilisé pour diverses applications telles que CVD, PECVD, RIE, ALD, APCVD et MOCVD. Avec ses caractéristiques de conception et de performance robustes, il est un excellent choix pour l'optimisation des processus et des améliorations de qualité significatives. De plus, 0010-12516 est capable de manipuler un large éventail de procédés allant du dépôt de matériaux à basse température aux supraconducteurs à haute température. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516 offre une grande polyvalence avec son processus automatisé de transport d'échantillons, son porte-échantillon intégré, son régulateur de température et sa configuration de chauffage réglable. Il est également facile à utiliser grâce à son interface graphique intuitive. En outre, il offre une flexibilité supplémentaire avec ses entrées de gaz multiples, sa purge de gaz et ses gaz d'échappement. AMAT 0010-12516 peut être utilisé pour obtenir d'excellents résultats lorsqu'il est utilisé pour des procédés de dépôt en couches minces tels que CVD et ALD.
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