Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293773953 à vendre en France

ID: 293773953
Taille de la plaquette: 12"
MCA E-Chuck assembly, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de couches minces et de revêtements avancés sur plaquettes de silicium. Ce réacteur innovant est emblématique de l'engagement d'AMAT envers la technologie de pointe et l'ingénierie de précision, répondant aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. Opérationnel à haute température et sous vide contrôlé, le réacteur AMAT 0010-27983 permet le dépôt de divers matériaux tels que le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, le tungstène et le nitrure de titane sur des substrats avec une uniformité et une précision exceptionnelles. Ces films déposés jouent un rôle crucial dans l'amélioration des propriétés électriques et structurelles des dispositifs semi-conducteurs, assurant des performances et une fiabilité supérieures. L'une des principales caractéristiques du réacteur SET MATERIALS 0010-27983 est son équipement avancé de manutention des plaquettes, qui permet le chargement et le déchargement efficaces des plaquettes de silicium avec un risque minimal de contamination ou d'endommagement. Ce système de manutention automatisé garantit un haut niveau de répétabilité et de productivité des processus, crucial pour obtenir un dépôt uniforme et de haute qualité de couches minces sur plusieurs plaquettes. La chambre du réacteur 0010-27983 est construite à partir de matériaux de haute pureté tels que le quartz et l'acier inoxydable, assurant la compatibilité chimique et la résistance à la corrosion pendant le processus de dépôt. La chambre est conçue pour maintenir un contrôle précis de la température et une répartition uniforme du flux de gaz, indispensable pour obtenir une épaisseur et des propriétés uniformes sur toute la surface de la plaquette. L'unité de distribution de gaz du réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 est équipée de régulateurs de débit massique et de régulateurs de pression pour contrôler avec précision les débits des gaz précurseurs tels que le silane, l'ammoniac et l'hexafluorure de tungstène. Ce contrôle précis du débit gazeux est crucial pour optimiser les paramètres du processus de dépôt et obtenir les propriétés pelliculaires souhaitées, telles que l'indice de réfraction, la contrainte et la résistance à l'adhérence. En outre, le réacteur est équipé de sources de plasma avancées et d'alimentations RF pour permettre des procédés de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) améliorés par plasma, qui sont essentiels pour le dépôt de films diélectriques et conducteurs de haute qualité avec une densité de film et une adhésion de film améliorées. La machine de commande du réacteur AMAT 0010-27983 est basée sur une interface logicielle sophistiquée qui permet le contrôle et l'ajustement des paramètres de processus en temps réel. Cette interface conviviale fournit aux opérateurs des capacités complètes de contrôle des processus, leur permettant d'optimiser les conditions de processus et les problèmes de dépannage rapidement et efficacement. En conclusion, le réacteur APPLIED MATERIALS 0010-27983 témoigne de l'expertise de APPLIED MATERIALS dans la conception et la fabrication de systèmes CVD avancés pour l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à son homogénéité de film exceptionnelle, à son contrôle précis des processus et à sa fiabilité, ce réacteur joue un rôle central dans la réalisation de dispositifs semi-conducteurs de pointe avec des performances et une qualité supérieures.
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