Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #119697 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Le réacteur est un outil avancé de CVD (dépôt chimique en phase vapeur) qui fournit un procédé complet de CVD thermique pour concevoir des revêtements et des microstructures. L'équipement est construit sur une plate-forme modulaire qui permet aux chercheurs de concevoir des solutions pour répondre à leurs exigences de processus les plus exigeantes. Le réacteur AMAT 0010-30686 offre une large gamme de capacités de traitement, y compris des températures de traitement standard allant de la température ambiante à 1000C et des pressions de traitement de 10 à 200 mTorr. Ce système est idéal pour les applications de recherche qui nécessitent des processus CVD thermiques hautement contrôlés et/ou des températures très élevées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 0010-30686 Le réacteur comprend un four à réacteur octogonal à double zone pour le traitement d'une seule plaquette ou par lots, ainsi qu'un collecteur de distribution de gaz pour un maximum de huit gaz de procédé. L'équipement embarqué de surveillance des processus permet d'assurer des processus reproductibles et fiables de l'exécution à l'exécution. En outre, le contrôle en temps réel des paramètres du procédé permet aux utilisateurs d'optimiser le processus de dépôt pour des cibles spécifiques, telles que l'épaisseur du film et l'uniformité du film. La chambre du réacteur 0010-30686 est construite à partir de 95 % d'alumine, ce qui la rend idéale pour la compatibilité avec une large gamme d'atmosphères de procédé et de chimies. La chambre contient également un générateur RF 3-Kilowatt qui est utilisé pour délivrer le plasma énergétique nécessaire à certains procédés. La chaleur rayonnante générée par le générateur RF peut être utilisée pour atteindre les températures de dépôt les plus élevées ou pour maintenir un processus isotherme, selon les exigences de l'utilisateur final. Caractéristiques de sécurité et d'entretien AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Réacteur en dehors d'autres systèmes, avec des caractéristiques telles qu'une navette de chargement avant, et une unité de déchargement de processus pour réduire les temps de chargement et de déchargement et améliorer la sécurité opérationnelle. Le réacteur dispose d'une machine de maintenance intégrée et d'une fonction complète d'enregistrement des données pour suivre les événements du processus. Enfin, l'outil peut être alimenté à distance avec un clavier bouton de la console de commande. AMAT 0010-30686 Reactor est un outil CVD puissant et polyvalent pour l'ingénierie et la R & D. La plate-forme modulaire de cet actif permet une configuration flexible et intuitive de l'utilisateur final, afin qu'il puisse être adapté à une variété de processus avec différentes atmosphères de traitement et chimies. Les applications de recherche qui dépendent de l'ingénierie de processus créative peuvent bénéficier du contrôle de précision, des caractéristiques de sécurité robustes et des performances répétables de ce réacteur thermochimique avancé.
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