Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) en un seul lot de plaquettes conçu pour la flexibilité du procédé et la plus haute performance possible du procédé. Cette structure du réacteur est en acier inoxydable et étanche aux gaz pour une utilisation avec des matériaux corrosifs. Ce système permet de déposer des films sur des substrats avec une uniformité de hauteur et des surfaces de substrat parfaitement lisses à haut débit et à haute température. L'unité est un modèle à une cassette, avec accès aux chambres de processus et de serrure de charge. La chambre de procédés fournit une configuration en deux zones pour les chimistries de procédés épitaxiés et avancés standard et une configuration en trois zones pour les chimies de procédés spécialisés. La chambre de serrure dispose d'une chambre de traitement in situ polyvalente et de ports multiples pour les gaz de traitement, pompes et autres accessoires. Le réacteur AMAT 0010-30686 comprend une boîte à gaz pour loger les systèmes de livraison et de surveillance du gaz. Cette boîte à gaz est contrôlée par la température et comprend la filtration des particules, la pression et le contrôle du débit. Il comprend également un collecteur de mélange de gaz avec commande électronique de débit et transducteurs de pression. La machine dispose de tous les automatismes électroniques, algorithmes et technologie logicielle de pointe. Il supporte les recettes de gravure et de dépôt à grande vitesse avec jusqu'à sept gaz, ainsi que les capacités de plusieurs chambres. Les caractéristiques comprennent un refroidisseur intégré pour l'uniformité thermique, un port de charge intégré pour le chargement maximisé du bain supérieur, un contrôle de processus multi-zones avec l'intégration de la commande murale Quad-zone, et l'optimisation automatique de la recette. En termes de sécurité et de fiabilité, cet outil dispose de systèmes d'alarme, d'interconnexions de sécurité, d'interconnexions de tension et de systèmes de surveillance des processus pour assurer un fonctionnement sûr et fiable. En outre, le réacteur est conçu pour une faible consommation d'énergie et un fonctionnement efficace. Cet atout a également une conception modulaire pour un entretien et un service faciles. Dans l'ensemble, le réacteur APPLIED MATERIALS 0010-30686 est un modèle fiable et efficace pour la fabrication de films de haute qualité. Ses procédés chimiques avancés, les procédés multi-zones, la conception de boîtes à gaz à température contrôlée, les dispositifs de sécurité et les alarmes, et l'automatisation optimisée des recettes en font un équipement idéal pour le dépôt de films sur des substrats avec une uniformité et une douceur de surface supérieure.
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