Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9026413 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162 est un équipement complet de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) conçu spécifiquement pour la production à grande échelle de couches minces. Le système se compose de six composants : un four, une unité de contrôle des gaz, un contrôleur, une chambre à vide, une unité de distribution et un réservoir à vide. Chaque composant travaille ensemble pour permettre un contrôle précis des paramètres du processus, permettant à la machine de réduire les coûts, d'améliorer les rendements et d'augmenter le débit. Le four est l'unité primaire de contrôle de la température de l'outil et fournit un profil de température uniforme pour les procédés LPCVD. Il est conçu pour résister à des températures élevées et peut être utilisé pour le dépôt de films d'oxyde de silicium, de nitrure et de silicium-germanium. L'unité de contrôle des gaz est conçue pour mélanger et coréguler avec précision les flux de gaz à des températures déterminées. Le contrôle précis des gaz de procédé est obtenu à l'aide d'une combinaison de régulateurs de débit massique et de soupapes mécaniques. Le contrôleur est un contrôleur logique numérique commandé par ordinateur qui coordonne le fonctionnement des composants d'actifs. Le contrôleur surveille et mesure les paramètres du processus et est utilisé pour programmer les recettes, surveiller les performances opérationnelles, et contrôler le temps de processus et la qualité du produit. La chambre à vide est une chambre en aluminium personnalisée avec un revêtement en acier inoxydable. Il est conçu pour fournir un environnement sous vide ultra-élevé pour le processus de dépôt. Le modèle de livraison est un équipement flexible et haute pression conçu pour fournir des gaz de traitement jusqu'à 14 bars, permettant un rendement accru avec un temps de traitement réduit. Il dispose d'un système à haute pression de gaz à la demande qui délivre automatiquement des gaz de traitement lorsque nécessaire. Le réservoir à vide est conçu pour réduire le besoin de pompes rugueuses dans la chambre de traitement. L'unité est destinée à réduire le temps de cycle de la machine et à améliorer la fiabilité du processus. Dans l'ensemble, l'outil AMAT 0010-36162 LPCVD est un atout entièrement automatisé et performant conçu pour accueillir la production à grande échelle de films minces. Ses composants sont intégrés dans un modèle compact qui permet un contrôle précis des paramètres du processus, augmente le débit, réduit les coûts et améliore la qualité du produit.