Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177210 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 est un équipement de réacteur à plasma inductif à couplage inductif monobloc largement utilisé dans le traitement avancé des matériaux et des dispositifs. Il offre un certain nombre d'avantages par rapport aux systèmes de réacteurs traditionnels, tels qu'un procédé à plus haut débit et un meilleur contrôle du procédé. Cela le rend bien adapté à diverses applications plasmatiques, y compris la gravure, le dépôt et l'oxydation/réduction. Le réacteur dispose d'une source double laser qui contribue à améliorer l'uniformité du plasma et à nettoyer efficacement la surface de la plaquette. La source laser est située à l'extérieur de la chambre principale, ce qui permet une fiabilité et un contrôle accrus du procédé. Le double laser permet un meilleur contrôle des paramètres plasmatiques, permettant un fonctionnement plus efficace. Le réacteur peut traiter des plaquettes de 200-300mm de diamètre et a une puissance RF maximale de 1.2kW et jusqu'à 4kW de puissance inductive. La puissance RF peut être réglée de zéro à n'importe quelle fréquence, permettant un contrôle précis de la puissance plasma. Le blindage supérieur est utilisé pour produire une atmosphère uniforme et stable en température, adaptée aux procédés de diffusion. Le système est équipé d'une boucle de rétroaction RF qui surveille en permanence la puissance du plasma pour permettre un contrôle précis de ses paramètres. Cela permet un processus très précis et reproductible. Le réacteur dispose également d'un contrôle de convection à vitesse variable pour maintenir une distribution plasma uniforme. Ceci permet un dépôt de matière plus uniforme sur la plaquette. Ceci est particulièrement utile pour les applications de gravure anisotrope, où le matériau doit être gravé uniformément sur toutes les surfaces. L'unité est conçue pour l'installation sur place et les systèmes portables. Il est entièrement personnalisable en fonction des exigences spécifiques du processus, et il peut être configuré pour des recettes personnalisées complexes. Il comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité pour la sécurité des procédés. Le réacteur AMAT 0010-36408 est une machine très polyvalente pour le traitement des matériaux et la fabrication de dispositifs. Il offre des taux de traitement rapides et fournit un contrôle de processus plus élevé que les autres systèmes. Il est adapté à une variété de cadres industriels, de recherche et éducatifs.