Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9087782 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005 Le réacteur est un modèle de réacteur de travail conçu pour la production en volume moyen à élevé d'applications chimiques et/ou semi-conductrices. Il fournit un espace de travail dédié pour toutes les étapes de processus nécessaires dans les fabrications de semi-conducteurs jusqu'à 8 pouces de plaquettes. Cet équipement est conçu pour aider à rationaliser le processus en permettant l'intégration de modules multiples dans une unité, créant une cellule de production efficace et rentable. Le réacteur AMAT 0010-75005 est équipé d'une chambre de réacteur en quartz, pyrex ou alumine de haute qualité pour différents flux de gaz et températures. Tous les modules du système sont intégrés à des capteurs de température qui permettent un excellent contrôle thermique et une répétabilité constante des paramètres de processus désirés. Il comprend une pompe in situ turbomoléculaire, créant un environnement ultrapuissant de haute qualité et empêchant les dégazages et autres phénomènes indésirables. Les principaux composants de cette unité comprennent : Chargeur robot : Une machine de chargement et de déchargement automatique contrôlée par ordinateur pour gérer les plaquettes dans la chambre de processus. Contrôleur : Cela comprend une interface homme-machine (HMI) pour la saisie des données, un éditeur de recettes pour l'établissement des paramètres de processus, un contrôleur de processus central (CPC) pour le contrôle des processus, et un kit d'outils logiciels pour aider à personnaliser les fonctions. Chambre de réaction : Il existe un large éventail d'options pour permettre une variété d'applications de processus. Il est équipé d'un dôme chauffant, d'un dispositif de chauffage par injection électrique et d'une technologie de port de traitement, permettant des résultats rapides et reproductibles. Outil de distribution de gaz : Il comprend un régulateur de pression de haute précision, des régulateurs de débit massique et d'autres systèmes de gaz pour assurer la précision et la reproductibilité de la distribution de gaz à la chambre de réaction. Source de pulvérisation : Cela comprend une gamme d'options de source de pulvérisation, y compris des fusils planaires, des cylindres rotatifs et des cibles tournantes pour diverses applications. Moniteur d'épaisseur de film in situ et moniteur de contamination : Ces moniteurs fournissent une rétroaction en temps réel sur les paramètres de la chambre de réaction. Viewport : Ce viewport offre une vue claire sur la chambre de réaction, contribuant à minimiser la variabilité du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 0010-75005 Le réacteur est entièrement automatisé et peut accueillir plusieurs étapes de processus. Cet atout permet des réglages rapides et faciles avec une rétroaction instantanée sur les conditions de processus. Il peut être utilisé pour une variété d'applications de température et de pression, et est spécialement conçu pour offrir flexibilité et répétabilité. 0010-75005 Le réacteur est un excellent choix pour les besoins de production de volume moyen à élevé.
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