Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-49285 #293647105 à vendre en France

ID: 293647105
Liner, cathode, baffle.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-49285 est un système de traitement plasma haute puissance, haute température et haute pression. C'est l'un des outils les plus avancés disponibles pour l'industrie, fournissant une température uniforme, un traitement propre et des taux de dépôt de matériaux élevés. Le réacteur AMAT 0040-49285 est adapté à diverses applications telles que le dépôt de couches minces, l'implantation ionique, la gravure et les interconnexions. Le réacteur est équipé d'une source d'énergie, d'une source d'énergie RF et d'un ensemble multichambres. La source d'énergie est capable de produire la haute tension, jusqu'à 450V, pour la préionisation de la chambre et la formation de plasma dans la chambre. La source d'énergie RF est capable de produire jusqu'à 24 kW de puissance pour générer les ondes haute fréquence nécessaires au maintien du plasma. L'ensemble multichambres est constitué d'une chambre cathodique, d'une chambre anodique et d'une chambre principale basse pression. La chambre cathodique utilise la puissance RF générée par la source d'énergie RF pour générer un flux d'ions dirigés et accélérés vers l'anode. La chambre d'anode contient une pièce à traiter et est chauffée en même temps. La chambre principale basse pression est capable de contenir les hautes températures et pressions générées par la puissance RF tout en évitant l'arc ou les courts-circuits. La configuration multi-chambres du réacteur APPLIED MATERIALS 0040-49285 permet un contrôle très précis des procédés. La température et la pression des chambres peuvent être précisément surveillées et ajustées selon les besoins. De plus, la pression et la température dans la chambre d'anode peuvent être encore ajustées respectivement par flux de gaz source et bombardement électronique. Ceci permet un contrôle précis de la vitesse de dépôt, de l'énergie ionique et du niveau d'implantation ionique. Le réacteur 0040-49285 est également capable de réaliser une variété de procédés, allant du dépôt en couches minces à la fabrication céramique, en passant par la gravure et le traitement des semi-conducteurs. La force de la puissance RF, le contrôle précis de la pression et de la température dans les chambres, et la gamme de procédés possibles font du réacteur un outil inestimable pour de nombreuses applications industrielles.
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