Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-56491 #293659985 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-56491 Le réacteur est un outil utilisé pour les procédés de gravure et de dépôt dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce type de réacteur est une source de traitement thermique à plasma utilisée pour déposer et graver des matériaux dans une chambre de réaction à base de gaz. Le réacteur AMAT 0041-56491 est utilisé dans les laboratoires de fabrication de semi-conducteurs, de recherche et universitaires, ainsi que dans les procédés industriels et de production. Le réacteur dispose d'un procédé de gravure à haut débit, à faible coût par tranche, qui offre une gravure de haute qualité, répétable et uniforme. Le réacteur peut être intégré avec d'autres outils dans un environnement multi-outils, permettant un traitement des plaquettes à haut débit avec une plus grande flexibilité opérationnelle. De plus, le réacteur utilise une source de plasma multifréquence propriétaire pour éliminer sélectivement des matériaux avec des vitesses de gravure variables. Le réacteur dispose également d'un contrôle de la température et du processus pour maximiser la durée de vie de la plaquette. Sa source de plasma haute fréquence multifréquence réduit également la variabilité entre les plaquettes. Grâce à son logiciel Smart Etch Utility (SEU), le réacteur est en mesure d'adapter les profils de vitesse de gravure aux besoins très spécifiques des clients. Le réacteur comprend un boîtier électrique avec un système de commande de puissance en boucle fermée afin de minimiser la non-uniformité du traitement thermique sur et hors de la plaquette. Le réacteur utilise plusieurs accessoires pour augmenter sa fonctionnalité. Ils comprennent une variété de conduites d'entrée de gaz, des boucliers de chambre pour protéger le mandrin contre le plasma, et une serrure de charge sous vide en option. Ce verrouillage de charge permet à l'outil d'être utilisé pour la production à haut débit, l'augmentation de l'efficacité du processus et le débit. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 0041-56491 Le réacteur comprend également plusieurs méthodes de surveillance des procédés. Cela inclut un diagnostic complet des performances plasmatiques et mécaniques du réacteur. À tout moment du processus, l'utilisateur peut revoir le réglage et les paramètres, et également consulter un enregistrement de toutes les étapes du processus. 0041-56491 Le réacteur est un outil polyvalent et fiable conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil est idéal pour les processus de gravure et de dépôt nécessitant des résultats précis et cohérents. En outre, le réacteur est compatible avec d'autres outils et dispose d'accessoires pour augmenter la fonctionnalité et la surveillance des processus.
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