Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-03467 #293649904 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor est un équipement technique révolutionnaire conçu pour le dépôt de couches minces à diverses fins. Le réacteur est constitué d'une géométrie de tête de douche supérieure et inférieure, recouverte d'une chambre de traitement fermée. AMAT 0090-03467 se caractérise par sa vaste zone de traitement, l'uniformité accrue des procédés et l'amélioration de la dynamique des flux. La tête de douche supérieure contient un réseau circulaire de pointes de distribution de gaz qui permettent une distribution dynamique du flux de gaz dans la tête de douche inférieure. Les pointes de distribution de gaz sont construites en matériau de niveau supérieur qui est conçu pour résister aux matériaux corrosifs tout en assurant un débit de gaz uniforme dans toute la zone de traitement. Les pointes sont maintenues en place par une bague de retenue qui est destinée à empêcher le retrait accidentel. La tête de douche inférieure se compose d'un cadre qui abrite un certain nombre de fentes individuelles pour les sources de poudre. Les fentes sont réglables ce qui permet un réglage fin des sources de poudre pour une variété de procédés de dépôt de matériaux. Un injecteur d'entrée est également logé à l'intérieur de la tête de douche inférieure, ce qui permet l'introduction de gaz réactifs qui facilitent le processus de dépôt des couches minces. La chambre de traitement fermée abrite les géométries supérieure et inférieure de la tête de douche. Il est construit en acier inoxydable à haute température et est équipé d'un système d'isolation thermiquement efficace pour un contrôle supérieur de la température dans la chambre de traitement. Les parois de la chambre de traitement sont garnies de quartz, ce qui permet de transmettre de l'énergie RF dans la chambre et de la diriger vers les substrats selon les besoins. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 0090-03467 Réacteur à tête de douche peut être utilisé pour déposer des films minces sur une variété de substrats, y compris le silicium, le verre et les métaux. Les couches minces peuvent être utilisées pour un large éventail d'applications, y compris les cellules solaires à couches minces, les couches optiques, les couches résistantes à l'usure et les couches conductrices. Le réacteur est également conçu pour être un outil convivial et économique qui permet aux chercheurs, aux ingénieurs et aux fabricants de déposer rapidement et de façon fiable des films minces.
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