Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 019009275 / 019009272 #293658103 à vendre en France

Les réacteurs AMAT 019009275 (photorésist asher) et APPLIED MATERIALS 019009272 (photorésist etcher) sont utilisés dans la production de dispositifs semi-conducteurs sur les plaquettes de 300 millimètres (12 pouces) standard dans l'industrie. Ces réacteurs utilisent des températures élevées et un contrôle précis des processus pour nettoyer et graver les matériaux utilisés dans la fabrication de puces de haute technologie. Les 019009275 photorésistent asher est une gaufrette simple, la pression atmosphérique oxidative asher utilisé pour l'enlèvement de se photoopposent aux gaufrettes d'ON Semiconductor. Il dispose d'un équipement de distribution de gaz très uniforme et de grande capacité qui assure une atmosphère de fonctionnement homogène dans toute la chambre. La chambre de silicium utilise un système de convection forcée à haute température, à chargement direct, qui permet un traitement à haute température plus rapide. Il peut également préchauffer automatiquement le substrat avant traitement pour réduire les contraintes thermiques. L'etcher photorésist 019009272 est un réacteur de gravure à vide à simple tranche, à focalisation électrostatique. Il élimine la résine photosensible des surfaces du substrat pour préparer l'implantation ionique, ainsi que pour former des motifs pour la fabrication de circuits intégrés. Il dispose d'une unité de distribution de gaz très uniforme qui assure une atmosphère de fonctionnement homogène, et d'une machine de distribution de convection forcée pour permettre une livraison de gaz plus efficace. La chambre dispose également de porte-broches de refroidissement pour aider à maintenir les températures des plaquettes, et de polarisation dynamique du substrat pour aider à contrôler la vitesse de gravure et l'uniformité. Les deux processus comportent une surveillance automatisée des processus en temps réel pour assurer l'uniformité des processus sur plusieurs plaquettes, et des diagnostics avancés pour l'analyse des processus de fonctionnement. L'outil de détection des points d'extrémité du procédé aide également à réduire la décomposition du revêtement antireflet (ARC), tandis que l'outil de nettoyage après gravure aide à réduire les résidus d'oxyde sur les surfaces des plaquettes. AMAT/APPLIED MATERIALS 019009275 et le 019009272 sont une plate-forme fiable, très uniforme et efficace pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Ils offrent des procédés de fabrication fiables à haut débit pour la fabrication de puces, ce qui les rend idéaux pour la fabrication de puces de haute technologie.