Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-06824 #293668873 à vendre en France
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ID: 293668873
Taille de la plaquette: 12"
Cover ring for Ultima X, 12"
Process: HDPCVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-06824 est un réacteur de gravure plasma avancé pour la fabrication de semi-conducteurs. L'équipement fournit une solution pour la définition des caractéristiques critiques à la fois dans l'isolation de tranchées peu profondes (STI) et la gravure de silicium plus profonde de tranchées peu profondes. La chambre de procédé du réacteur est une conception entièrement métallique avec plusieurs électrodes qui lui permet d'ajuster ses vitesses de gravure sélectives afin d'obtenir des résultats supérieurs. Sa source de plasma avancée fournit un excellent contrôle électrique pour des performances de processus répétables. Le système est conçu comme une petite unité scellée, ce qui réduit les niveaux de bruit et améliore la propreté de l'unité. La puissance avancée et l'électronique de contrôle de l'AMAT 0200-06824 offrent une précision de haute performance. Ceci est démontré par les capacités de la machine de contrôle de pression, qui lui permettent de maintenir une excellente répétabilité du processus et de minimiser le bombardement ionique des parois de la chambre pendant le fonctionnement. Le générateur RF avancé du réacteur permet également de contrôler la forme du profil de gravure sur mesure. L'utilisateur final bénéficiera d'une interface graphique intuitive et facile à utiliser, ce qui fait de la création de recettes et de la mise en place une brise. Avec une large gamme de recettes de procédé disponibles, les utilisateurs du réacteur sont en mesure d'optimiser leurs paramètres de procédé pour le produit qu'ils tentent de réaliser. L'outil supporte également des opérations répétables et est équipé d'un moniteur de santé afin que les utilisateurs puissent vérifier l'état de l'actif. APPLIED MATERIALS 0200-06824 est un modèle intuitif et efficace pour la production de matériaux semi-conducteurs de haute qualité. Avec ses systèmes avancés de contrôle du plasma et sa large gamme de recettes de procédé, le réacteur permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les profils de gravure pour des performances supérieures. Son interface graphique fait de l'installation et de la création de recettes une tâche simple, tandis que son équipement de surveillance de la santé assure aux opérateurs les meilleures informations pour prendre des décisions judicieuses.
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