Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-17147 #293774469 à vendre en France
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ID: 293774469
Taille de la plaquette: 12"
Cylinder wafers support black quartz RTP, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-17147 est un réacteur de haute performance PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) conçu pour le dépôt de couches minces dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil avancé offre une gamme de capacités et de fonctionnalités qui en font un atout essentiel pour la fabrication de circuits intégrés avec une qualité et des performances supérieures. Au cœur du réacteur AMAT 0200-17147 se trouve sa chambre à plasma, où se déroule le processus de dépôt. Cette chambre est conçue pour créer un environnement très contrôlé dans lequel divers produits chimiques peuvent être introduits et réagir au niveau moléculaire pour former des couches minces à la surface du substrat. Le réacteur est équipé de sources de plasma avancées et de systèmes de distribution de gaz qui assurent un contrôle précis des paramètres du processus de dépôt tels que la température, la pression, les débits et la composition du gaz. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir une épaisseur de film uniforme, une excellente adhérence et une faible densité de défauts dans les films déposés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur 0200-17147 est doté d'un équipement de chauffage robuste qui permet d'effectuer le dépôt à des températures élevées, ce qui est souvent nécessaire pour déposer des films de haute qualité avec des propriétés spécifiques. Le système de régulation de température maintient un environnement thermique stable à l'intérieur de la chambre, assurant des propriétés de film cohérentes sur toute la surface du substrat. En plus du contrôle de température, le réacteur est également équipé d'une unité de vide complète qui permet un contrôle précis de la pression de la chambre pendant le processus de dépôt. Le maintien des bonnes conditions de pression est essentiel pour contrôler les caractéristiques plasmatiques et les réactions chimiques qui se produisent pendant le dépôt du film. La machine à gaz du réacteur 0200-17147 fournit une méthode précise et fiable pour introduire des gaz précurseurs dans la chambre. Ces gaz subissent des réactions contrôlées dans l'environnement plasmatique, conduisant à la formation de couches minces aux propriétés recherchées telles que la conductivité, la constante diélectrique et la transparence optique. Les sources de plasma dans le réacteur jouent un rôle critique dans la génération du plasma à haute énergie nécessaire à l'activation des réactions chimiques qui conduisent au dépôt de film. Ces sources sont conçues pour produire un plasma stable et uniforme qui améliore l'homogénéité et la qualité des films déposés. Le réacteur est également équipé de systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus qui permettent de suivre en temps réel les principaux paramètres de dépôt. Cela permet aux opérateurs d'ajuster immédiatement les conditions du procédé pour optimiser la qualité du film et l'efficacité de la production. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-17147 est un outil très polyvalent et fiable pour le dépôt de couches minces dans des applications de fabrication de semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, ses systèmes de contrôle précis et sa conception robuste en font un atout essentiel pour les installations de fabrication de semi-conducteurs qui cherchent à réaliser des circuits intégrés haute performance avec une qualité de film et une uniformité supérieures.
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