Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425 à vendre en France
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ID: 293620425
PECVD System
Loader
Dry pump for each chamber
Robot
Scrubber
Heater exchanger
PC
Monitor
LCD Glass: 370 x 470
(2) Loadlock chambers
(2) Process chambers
(2) Transfer chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600 est un réacteur monocouche conçu pour la production à haut débit de divers composants semi-conducteurs, tels que des plaquettes et substrats modernes. Ce réacteur à usages multiples a été conçu pour traiter des plaquettes isolées, non-okloaded jusqu'à 6 pouces de diamètre. Le réacteur est conçu pour accepter deux cassettes individuelles, ce qui permet d'exécuter simultanément deux procédés distincts. La conception sophistiquée de la chambre de procédé des réacteurs permet une distribution uniforme du plasma multidimensionnel à haute densité (HDP). Cette chambre spécialisée donne également des résultats répétables et très fiables, à haut rendement sur un temps de cycle répétable. AKT 1600 est équipé d'une tête de douche multi-buses, qui assure l'uniformité diélectrique sur les débits de tous les substrats. La chambre du réacteur est équipée d'un collecteur de flux de gaz et d'une jauge numérique d'oxygène. Cette fonctionnalité permet un contrôle optimal des besoins spécifiques de chaque processus. Le réacteur est conçu pour fonctionner dans un environnement sec, permettant un environnement de processus propre. Un mini-capteur et une pompe turbo valvée fournissent à chaque procédé la quantité correcte de gaz de procédé, ajoutant aux réacteurs des performances fiables et répétables. Le processeur est en outre équipé d'un système d'élévation de bateau réglable en profondeur assurant une uniformité de dépôt optimale avec les plaquettes non chargées. AMAT AKT1600 est livré avec une interface utilisateur Écran tactile qui permet des changements rapides et un contrôle facile des paramètres de processus et des recettes. Le système de surveillance et de contrôle des processus permet de minimiser les temps d'arrêt et maximise le rendement de chaque processus. Avec cette fiabilité et cette répétabilité, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT1600 est une excellente option pour la production à haut débit de composants semi-conducteurs.
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